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公开(公告)号:CN102169100A
公开(公告)日:2011-08-31
申请号:CN201110005641.2
申请日:2011-01-12
Applicant: 哈尔滨海格通江敏感技术有限责任公司
IPC: G01N27/02
Abstract: 一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件及其制备方法,它涉及湿度敏感传感器元件及其制备方法。本发明是要解决现有的锂霞石湿度传感器响应慢、制备工艺难度大的技术问题。本发明的一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件由氧化铝陶瓷基体、涂覆在氧化铝陶瓷基体上的锂霞石涂层和焊接在氧化铝陶瓷基体上的电极组成,其中锂霞石涂层的厚度为0.001mm~0.1mm;制备方法:将锂霞石颗粒和锂霞石溶胶粘结剂研磨后得到的浆料涂覆在氧化铝陶瓷基体上,烧结后再经老化,得到厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件。该元件化学性质稳定,响应时间短,制备工艺简单,可应用于高温恶劣坏境中的湿度检测。
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公开(公告)号:CN102169100B
公开(公告)日:2012-08-22
申请号:CN201110005641.2
申请日:2011-01-12
Applicant: 哈尔滨海格通江敏感技术有限责任公司
IPC: G01N27/02
Abstract: 一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件的制备方法,它涉及湿度敏感传感器元件的制备方法。本发明是要解决现有的锂霞石湿度传感器响应慢、制备工艺难度大的技术问题。本发明的一种厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件由氧化铝陶瓷基体、涂覆在氧化铝陶瓷基体上的锂霞石涂层和焊接在氧化铝陶瓷基体上的电极组成,其中锂霞石涂层的厚度为0.001mm~0.1mm;制备方法:将锂霞石颗粒和锂霞石溶胶粘结剂研磨后得到的浆料涂覆在氧化铝陶瓷基体上,烧结后再经老化,得到厚膜锂霞石湿度敏感传感器元件。该元件化学性质稳定,响应时间短,制备工艺简单,可应用于高温恶劣坏境中的湿度检测。
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