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公开(公告)号：CN119980401A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510229328.9
申请日：2025-02-28
Applicant: 哈尔滨工程大学
Abstract: 一种基于电化学阳极氧化技术的金属纳米点阵列加工方法，它涉及一种金属纳米点阵列加工方法。本发明为了解决现有针对超小尺寸的金属纳米点阵列的加工方法稳定性低、结构参数不能灵活调节，且成本较高的问题。本发明的步骤包括步骤1、对铝片进行预处理；步骤2、对预处理后的铝片进行压印并进行氧化，得到阳极氧化铝模板；步骤3、利用阳极氧化铝模板制备连续基底铝锥阵列；步骤4、对连续基底铝锥阵列进行预处理，获得样品；步骤5、赋予导电性；步骤6、对样品进行二次氧化；步骤7、对样品进行透光性处理；步骤8、去除样品表面PMMA。本发明属于微纳米加工技术领域。
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