公开(公告)号：CN106643520A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201611169900.4

申请日：2016-12-16

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 刘守斌 ,  毕江林 ,  束名扬

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/00

Abstract: 一种用于光栅位移测量系统的位移计算方法，包括以下步骤：S1)通过DSP对双路非正交正弦位移信号进行同步采样，获得双路非正交正弦信号数据；S2)根据相关原理计算出双路非正交正弦信号数据的相位差值；S3)根据相位差值，使用非整周期部分信号细分算法，计算出非整周期部分信号所包含的位移量；以及S4)根据整周期计数值计算出整周期部分信号所包含的位移量，加上上述非整周期部分信号所包含的位移量，计算出总位移量。实施本发明提供的双路非正交位移信号计算位移量的方法，减小了位移信号由于非正交带来的位移测量误差，提高了位移测量精度。

公开(公告)号：CN206618387U

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201720100847.6

申请日：2017-01-24

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 刘守斌 ,  毕江林 ,  束名扬

IPC: G01B11/02

Abstract: 一种用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，包括差分放大电路，被放置在上层光路上的激光器、滤波镜片及第1反光棱镜，以及被放置在下层光路上第2反光棱镜、衍射光栅、第1反光镜、第2反光镜、立方体分光镜、放大透镜及光电探头阵列。上层光路的激光器射出准直单色激光束经过滤波镜片后形成单频激光束，被第1及第2反光棱镜反射后，水平输出给下层光路，其衍射光栅对垂直入射的激光束发生衍射，其+1级和－1级衍射光经第1及第2反光镜反射后，在立方体分光镜中会合并发生干涉输出，再经过放大透镜放大照射在光电探头阵列上，光电探头阵列的四象限探测器输出四路光电转换信号，经差分放大可输出两路位移信号以表示衍射光栅的线性位移量。本实用新型使衍射光栅位移测量系统干涉测量头结构紧凑，工作空间缩少。