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公开(公告)号：CN117330216A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311266448.3
申请日：2023-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明涉及一种具有仿芦竹叶微结构的的柔性压力传感器及其制备方法，该传感器由上保护层、敏感微结构层以及下电极层三部分组成。敏感微结构层下表面分布有平行微槽，微槽侧壁面具有次级微棱结构；下电极层的上表面具有平行微突脊，且平行微突脊与敏感微结构层下表面的平行微槽一一对应并互相接触，构成导电通路。制备时，敏感微结构层下表面和下电极层上表面相互配合封装，并在敏感微结构层上表面覆盖上保护层进行封装保护。本发明中的传感器能够在提高灵敏度的同时拓宽线性检测范围，而且具备工艺简单、成本低、易控制等优点。
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