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公开(公告)号：CN117655512A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311868936.1
申请日：2023-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
IPC: B23K26/06 , B23K26/70 , B23K26/062
Abstract: 本发明提供了一种纳皮秒激光并行多光束加工方法及加工系统,该纳皮秒激光并行多光束加工方法包括如下步骤：打开纳皮秒激光并行多光束加工系统中的各装置；控制光束能量调整系统的空间角度，以将皮秒激光垂直聚焦到两个工件；控制光束能量调整系统的空间角度，以将纳秒激光垂直聚焦到两个工件；控制皮秒激光器和纳秒激光器同时启动，以观察示波器上显示的皮秒‑纳秒激光脉冲序列与设定是否相同；判断示波器上显示皮秒激光脉冲和纳秒激光脉冲的脉冲序列与预设脉冲序列是否相同，并根据判断结果，选择是否移动两个工作台；本发明通过调控多光束动态调制器对皮秒激光和纳秒激光的脉冲能量比例和延迟时间调制，最终实现不同材料的高质高精的加工。
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