光清洗装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101301599A

    公开(公告)日:2008-11-12

    申请号:CN200810095278.6

    申请日:2008-05-04

    Abstract: 本发明提供一种照射窗与被照射物之间的距离缩短而可减少UV衰减的光清洗装置。本发明的光清洗装置(1)包括:构成光清洗装置(1)的本体的框体(22)、配置在框体(22)内的灯(2)、用于使灯(2)亮灯的负电极(3)和正电极(4)、使来自灯(2)的UV光透射的照射窗部件(5)、以及用于支撑该照射窗部件(5)的端部的支撑部(6)。支撑部(6)包括:照射窗部件(5)的端面(7)、设于在框体(22)的下部形成的窗框开口部(20)内周的接合面(8)、以及夹在端面(7)与接合面(8)之间的填料(9)。

    介质阻挡放电灯以及紫外线照射装置

    公开(公告)号:CN100423177C

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200510002256.7

    申请日:2005-01-20

    Abstract: 本发明提供抑制了由热膨胀差导致的颗粒的产生的介质阻挡放电灯以及使用了它的紫外线照射装置。介质阻挡放电灯(EXI),具备:由紫外线透过性的材料构成的、呈细长管状的密封容器(1);被封入到密封容器(1)内的受激准分子生成气体;以在密封容器(1)内遍及其管轴方向的大体全长地产生介质阻挡放电的方式配设的内部电极(2);以通过与内部电极(2)的协作而在密封容器(1)内产生介质阻挡放电的方式起作用的外部电极OE;沿着密封容器(1)的管轴方向在密封容器(1)以及外部电极(OE)之间形成满足数学式0<G≤1.0(单位mm)的条件的间隙G的间隙形成装置(S)。

    介质阻挡放电灯以及紫外线照射装置

    公开(公告)号:CN1645557A

    公开(公告)日:2005-07-27

    申请号:CN200510002256.7

    申请日:2005-01-20

    Abstract: 本发明提供抑制了由热膨胀差导致的颗粒的产生的介质阻挡放电灯以及使用了它的紫外线照射装置。介质阻挡放电灯EXL,具备:由紫外线透过性的材料构成的、呈细长管状的密封容器1;被封入到密封容器1内的受激准分子生成气体;以在密封容器1内遍及其管轴方向的大体全长地产生介质阻挡放电的方式配设的内部电极2;以通过与内部电极2的协作而在密封容器1内产生介质阻挡放电的方式起作用的外部电极OE;沿着密封容器1的管轴方向在密封容器1以及外部电极OE之间形成满足数学式0<G≤1.0(单位mm)的条件的间隙G的间隙形成装置S。

    紫外光源点亮装置以及紫外线照射装置

    公开(公告)号:CN1805639B

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN200610002108.X

    申请日:2006-01-16

    Abstract: 提供这样的紫外光源点亮装置以及使用了它的紫外线照射装置,所述紫外光源点亮装置在将细长的多个紫外光源相邻配置的构成中,当紫外光源的一部分在点亮中因某种原因而不亮时,进行适当的后备点亮。紫外光源点亮装置UVO,具备:以将各自放射的紫外光合成后照射被照射面的方式相邻配置的细长的多个紫外光源UVL,将多个紫外光源分别点亮的点亮电路OC,检测多个紫外光源的不亮的不亮检测装置D,和与不亮检测装置连动地控制与不亮的紫外光源相邻的紫外光源的点亮电路、从而使紫外光输出增加的不亮时后备装置。

    介质阻挡放电灯以及紫外线照射装置

    公开(公告)号:CN100562970C

    公开(公告)日:2009-11-25

    申请号:CN200510137628.7

    申请日:2005-12-26

    Abstract: 提供防止从被照射物飞散的不纯物附着在介质阻挡放电灯的表面上的介质阻挡放电灯以及使用了它的紫外线照射装置。介质阻挡放电灯EXL,具备由紫外线透过性的材料制成的、呈细长的管状的气密容器1,被封入气密容器内的受激准分子生成气体,以在气密容器内在其管轴方向的大致全长上产生介质阻挡放电的方式配设的较长的内部电极2,配设在气密容器的外面,以通过与内部电极的协作在气密容器内产生介质阻挡放电的方式起作用的外部电极OE,沿着气密容器的管轴方向的横贯前面部地形成气流的气流发生装置AB。

    曝光装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101303538A

    公开(公告)日:2008-11-12

    申请号:CN200810099206.9

    申请日:2008-05-08

    Inventor: 铃木俊也

    Abstract: 本发明提供一种具有制造成品合格率良好的窗部件的曝光装置。滤波器(6)通过将多个瓦状滤波器(10)组合后配置在玻璃板(5)的表面上而构成。滤波器(6)在玻璃板(5)的表面上无间隙地彼此接触配置,其整周端部被框体(4)所具有的按压肋(7)保持。瓦状滤波器(10)的端部被斜向切除以使端面分别形成斜面,从而瓦状滤波器(10)的垂直截面呈大致梯形。将这样的瓦状滤波器(10)以端部彼此无间隙地接触的形态铺设在玻璃板(10)上,它们的接触面(9)形成为在上下相互重叠。

    紫外光源点亮装置以及紫外线照射装置

    公开(公告)号:CN1805639A

    公开(公告)日:2006-07-19

    申请号:CN200610002108.X

    申请日:2006-01-16

    Abstract: 提供这样的紫外光源点亮装置以及使用了它的紫外线照射装置,所述紫外光源点亮装置在将细长的多个紫外光源相邻配置的构成中,当紫外光源的一部分在点亮中因某种原因而不亮时,进行适当的后备点亮。紫外光源点亮装置UVO,具备:以将各自放射的紫外光合成后照射被照射面的方式相邻配置的细长的多个紫外光源UVL,将多个紫外光源分别点亮的点亮电路OC,检测多个紫外光源的不亮的不亮检测装置D,和与不亮检测装置连动地控制与不亮的紫外光源相邻的紫外光源的点亮电路、从而使紫外光输出增加的不亮时后备装置。

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