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    紫外光照射装置以及光清洗装置
    2.
    发明公开
    紫外光照射装置以及光清洗装置 无效

    公开(公告)号：CN1937102A

    公开(公告)日：2007-03-28

    申请号：CN200610126514.7

    申请日：2006-08-25

    申请人： 哈利盛东芝照明株式会社

    发明人： 藤田义贵

    IPC分类号： G21K5/00 ,  H01J65/00

    摘要： 本发明提供一种紫外光照射装置以及使用该装置的光清洗装置，即抑制在大气中对工件照射真空紫外光时真空紫外光的衰减，同时可以适当地管理臭氧以及活性氧的浓度。紫外光照射装置(UVE)具有产生真空紫外光的受激准分子放电灯(EXL)；点亮受激准分子放电灯的高频点灯电路(HFI)；惰性气体环境形成装置(IGB)，该惰性气体环境形成装置朝向受激准分子放电灯的真空紫外光照方向在工件(W)的周围形成惰性气体浓厚的环境；氧气环境形成装置(O2B)，该氧气环境形成装置在沿着工件的移动方向与惰性气体环境形成位置相分离的位置上，朝向受激准分子放电灯的真空紫外光照射方向在工件周围形成氧气浓厚的环境。

    水银灯组件
    3.
    发明授权
    水银灯组件 失效

    公开(公告)号：CN101154552B

    公开(公告)日：2010-12-08

    申请号：CN200710170147.5

    申请日：2007-09-24

    申请人： 哈利盛东芝照明株式会社

    发明人： 藤田义贵 ,  白石和宽 ,  前田祥平

    IPC分类号： H01J61/04 ,  H01J61/12 ,  H05B41/24 ,  H01J7/30

    摘要： 为实现在灯泡外表面设置有启动辅助导体的水银灯组件的早期再启动，提供一种水银灯组件，包括：具有灯泡(11)、在所述灯泡(11)内分别封入的水银、惰性气体以及在所述灯泡(11)内对置的一对电极(12a、12b)的水银灯(1)；与所述一对电极(12a、12b)之一连接的、沿所述灯泡的轴向配置在所述灯泡外表面的启动辅助导体(2)；在所述一对电极(12a、12b)之间施加驱动用交流电压Vd的稳定器(3)；在施加所述驱动用交流电压Vd的所述电极(12a、12b)之间施加启动用脉冲电压的启动电源(4)；其特征在于，在施加所述驱动用交流电压Vd的一对电极之中，与连接于所述启动辅助导体(2)的电极相比，另一个电极为低电位时的负半周期内施加所述启动用脉冲电压Vp，所述启动用脉冲电压Vp的最大振幅的极性，与所述驱动用交流电压的极性相反。

    水银灯组件
    4.
    发明公开
    水银灯组件 失效

    公开(公告)号：CN101154552A

    公开(公告)日：2008-04-02

    申请号：CN200710170147.5

    申请日：2007-09-24

    申请人： 哈利盛东芝照明株式会社

    发明人： 藤田义贵 ,  白石和宽 ,  前田祥平

    IPC分类号： H01J61/04 ,  H01J61/12 ,  H05B41/24 ,  H01J7/30

    摘要： 为实现在灯泡外表面设置有启动辅助导体的水银灯组件的早期再启动，提供一种水银灯组件，包括：具有灯泡(11)、在所述灯泡(11)内分别封入的水银、惰性气体以及在所述灯泡(11)内对置的一对电极(12a、12b)的水银灯(1)；与所述一对电极(12a、12b)之一连接的、沿所述灯泡的轴向配置在所述灯泡外表面的启动辅助导体(2)；在所述一对电极(12a、12b)之间施加驱动用交流电压Vd的稳定器(3)；在施加所述驱动用交流电压Vd的所述电极(12a、12b)之间施加启动用脉冲电压的启动电源(4)；其特征在于，在施加所述驱动用交流电压Vd的一对电极之中，与连接于所述启动辅助导体(2)的电极相比，另一个电极为低电位时的负半周期内施加所述启动用脉冲电压Vp，所述启动用脉冲电压Vp的最大振幅的极生，与所述驱动用交流电压的极性相反。