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发明公开
基板处理设备审中-公开

公开(公告)号：CN118805006A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202380021111.8

申请日：2023-02-09

申请人： 周星工程股份有限公司

发明人： 金映绿 , 李智勳

IPC分类号： C30B25/10 , C30B25/08 , H01J37/32

摘要： 一种基板处理设备包含：具有侧壁的腔室；用以在腔室内部安装基板的基座；围绕腔室的顶面并由透明介电材料形成的顶圆盖；设置在顶圆盖之上以产生电感耦合等离子体的天线；以及设置以围绕天线的电磁波遮挡外壳，其中电磁波遮挡外壳可由加热器来加热。