公开(公告)号：CN118243269A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202410183416.5

申请日：2024-02-19

Applicant: 同济大学

Inventor： 杨斌 ,  万云 ,  胡超杰 ,  赵云妹 ,  仓钰 ,  刘芮豪 ,  支杰 ,  王志成 ,  马韵升 ,  赵青松 ,  刘振学

IPC: G01L5/00

Abstract: 本发明公开了一种界面拉应力传感器及测试装置，界面拉应力传感器包括：沿一厚度方向依次层叠设置的顶层、中上层、中下层及底层；薄膜压应力传感器，所述薄膜压应力传感器夹设于所述中上层、中下层之间；至少两个第一连接件，所述至少两个第一连接件依次穿过所述中上层与所述中下层并将所述中上层连接至所述底层；以及至少两个第二连接件，所述至少两个第二连接件依次穿过所述中下层与所述中上层并将所述中下层连接至所述顶层。本发明所提供的技术方案能够解决如何测量界面拉应力的问题。