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公开(公告)号:CN112614945B
公开(公告)日:2023-02-10
申请号:CN202011488706.9
申请日:2020-12-16
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种具有沟槽阵列结构的微纳单晶柔性光电探测器及其制备,制备方法包括以下步骤:1)制备具有沟槽阵列微纳结构的硅模板;2)采用热压印方式将硅模板上的沟槽阵列微纳结构转移至柔性基底上;3)在柔性基底上制备钙钛矿微纳单晶;4)在柔性基底的钙钛矿微纳单晶上磁控溅射Cu电极,即得到具有沟槽阵列结构的微纳单晶柔性光电探测器。与现有技术相比,本发明可实现低成本、大面积构筑柔性光电探测器,且光电转换性能有所提升。
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公开(公告)号:CN113415820A
公开(公告)日:2021-09-21
申请号:CN202110555612.7
申请日:2021-05-21
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种制备图案化氧化锌纳米线阵列的方法,包括以下步骤:1)在衬底表面制备晶种层;2)在晶种层表面涂覆光刻胶;3)将含有图案的掩膜板置于光刻胶层上,之后在紫外灯下曝光;4)移去掩膜板并用显影液对光刻胶层中未固化的光刻胶进行冲洗;5)将光刻后材料浸入氧化锌纳米线的生长前驱液中,进行氧化锌纳米线阵列的水热生长;6)除去光刻后材料表面剩余的光刻胶,即在衬底表面得到图案化氧化锌纳米线阵列。与现有技术相比,本发明利用光刻胶对衬底表面晶种层的选择性覆盖,实现了氧化锌纳米线阵列的图案化制备,该方法加工方便,成本低廉,可实现氧化锌纳米线阵列的大面积图案化制备。
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公开(公告)号:CN112614946B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN202011488733.6
申请日:2020-12-16
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种具有金字塔结构的柔性钙钛矿光电探测器及其制备,制备方法包括以下步骤:1)制备具有微纳正金字塔结构的硅模板;2)采用热压印方式将硅模板上的微纳金字塔图案转移到柔性基底上;3)在柔性基底上旋涂钙钛矿前驱体溶液,并进行烘干,得到带有钙钛矿结晶的柔性基底;4)在带有钙钛矿结晶的柔性基底上磁控溅射电极,即得到具有金字塔结构的柔性钙钛矿光电探测器。与现有技术相比,本发明结合了微纳结构、钙钛矿、柔性光电探测器等几大热点研究领域,将微纳金字塔结构应用于新兴的柔性钙钛矿光电探测器中,以增强其光电探测性能,且成本低廉,制备过程简便。
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公开(公告)号:CN113502464B
公开(公告)日:2022-11-18
申请号:CN202110685531.9
申请日:2021-06-21
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种图案化二氧化钛纳米线阵列及其制备方法,本发明首先结合光刻工艺在含有氧化层的基底表面刻蚀出周期性结构,之后在此结构上沉积二氧化钛晶种,并借助毛细作用力的引导使晶种富集在基底表面凹陷处,再结合二氧化钛纳米线的水热生长技术,实现了二氧化钛纳米线阵列的图案化制备。与现有技术相比,本发明在单晶硅表面刻蚀形成三维微纳结构,并利用毛细管力诱导晶种沉积,可精确控制二氧化钛纳米线的生长区域,适用于对大面积基底的处理,且掩膜板可重复利用,适合规模化连续加工;加工方便、成本低廉,可实现二氧化钛纳米线阵列的大面积图案化制备,在纳米传感器、光电功能器件和光催化等领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN113896166A
公开(公告)日:2022-01-07
申请号:CN202111038728.X
申请日:2021-09-06
Applicant: 同济大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种等离激元正金字塔阵列基底及体外细胞内物质递送方法,通过结合多种微纳加工技术,在单晶硅表面刻蚀出周期和尺寸可调控的正金字塔阵列结构,进而沉积金属层或者其他复合材料层使其具备优异的原位等离激元性能和等离子光热转换性能,最后将细胞播种在基底表面,通过光源辐照的方式促进物质向细胞内的递送。与现有技术相比,本发明制备的等离激元阵列结构整齐可控,物质递送效率高,体外细胞活性保持良好,为广谱和高通量的细胞内递送提供了一种新的思路,具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN112618946A
公开(公告)日:2021-04-09
申请号:CN202011488697.3
申请日:2020-12-16
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种金字塔型柔性微针阵列及其制备方法,首先结合光刻技术在含有氧化层的硅片表面刻蚀出周期性倒金字塔阵列结构,进而以此为模板通过注入聚合物材料获得金字塔型柔性微针阵列。与现有技术相比,本发明加工方便、成本低廉,得到的金字塔型微针阵列排列整齐,尺寸可控,在医疗、美容、保健、运动等领域有着广泛的应用价值。
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公开(公告)号:CN112614946A
公开(公告)日:2021-04-06
申请号:CN202011488733.6
申请日:2020-12-16
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种具有金字塔结构的柔性钙钛矿光电探测器及其制备,制备方法包括以下步骤:1)制备具有微纳正金字塔结构的硅模板;2)采用热压印方式将硅模板上的微纳金字塔图案转移到柔性基底上;3)在柔性基底上旋涂钙钛矿前驱体溶液,并进行烘干,得到带有钙钛矿结晶的柔性基底;4)在带有钙钛矿结晶的柔性基底上磁控溅射电极,即得到具有金字塔结构的柔性钙钛矿光电探测器。与现有技术相比,本发明结合了微纳结构、钙钛矿、柔性光电探测器等几大热点研究领域,将微纳金字塔结构应用于新兴的柔性钙钛矿光电探测器中,以增强其光电探测性能,且成本低廉,制备过程简便。
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公开(公告)号:CN112614945A
公开(公告)日:2021-04-06
申请号:CN202011488706.9
申请日:2020-12-16
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种具有沟槽阵列结构的微纳单晶柔性光电探测器及其制备,制备方法包括以下步骤:1)制备具有沟槽阵列微纳结构的硅模板;2)采用热压印方式将硅模板上的沟槽阵列微纳结构转移至柔性基底上;3)在柔性基底上制备钙钛矿微纳单晶;4)在柔性基底的钙钛矿微纳单晶上磁控溅射Cu电极,即得到具有沟槽阵列结构的微纳单晶柔性光电探测器。与现有技术相比,本发明可实现低成本、大面积构筑柔性光电探测器,且光电转换性能有所提升。
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公开(公告)号:CN113502464A
公开(公告)日:2021-10-15
申请号:CN202110685531.9
申请日:2021-06-21
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种图案化二氧化钛纳米线阵列及其制备方法,本发明首先结合光刻工艺在含有氧化层的基底表面刻蚀出周期性结构,之后在此结构上沉积二氧化钛晶种,并借助毛细作用力的引导使晶种富集在基底表面凹陷处,再结合二氧化钛纳米线的水热生长技术,实现了二氧化钛纳米线阵列的图案化制备。与现有技术相比,本发明在单晶硅表面刻蚀形成三维微纳结构,并利用毛细管力诱导晶种沉积,可精确控制二氧化钛纳米线的生长区域,适用于对大面积基底的处理,且掩膜板可重复利用,适合规模化连续加工;加工方便、成本低廉,可实现二氧化钛纳米线阵列的大面积图案化制备,在纳米传感器、光电功能器件和光催化等领域具有广阔的应用前景。
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