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公开(公告)号：CN110128028B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201910344957.0
申请日：2019-04-26
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种用于真空紫外波段的铝基高反射镜的制备方法，包括以下步骤：(1)取清洗干净的基板置于镀膜机的真空室中，蒸镀一层Al膜；(2)继续在步骤(1)的Al膜上蒸镀一层LiF膜，得到Al/LiF基板；(3)在加热条件下，继续往步骤(2)中的Al/LiF基板的LiF膜上蒸镀MgF2膜；(4)停止加热，自然冷却，即得到目的产物。与现有技术相比，本发明的制备的Al/LiF/MgF2反射镜在真空紫外115nm以下波段的反射率优于该波段反射镜的反射率，方法工艺重复性高，可控性强，在真空紫外波段天文观测、自由电子激光装置、同步辐射束线建设与应用领域均有重要应用。
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公开(公告)号：CN103235398A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310134178.0
申请日：2013-04-17
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种多通道正入射极紫外成像物镜及其应用，该物镜包括一块副镜和多块主镜，主镜均设在一个圆周上，副镜位于该圆周的轴线上，每一块主镜分别和副镜共同组成一个通道，每个通道对同一个物体形成一幅图像，物体发出的光经主镜反射后照射到副镜上，再经过副镜反射后形成与主镜块数相同的多幅图像；该物镜与分幅相机配合使用，用于对Z-pinch光源的等离子体状态进行时空分辨诊断成像，在使用过程中，分幅相机作为物镜所成的多幅图像的探测器，分幅相机使同一个物体经过多通道物镜所成的多幅图像分别对应一个时间，从而实现时间分辨的能力。与现有技术相比，本发明可以实现高亮度、高分辨率的时空分辨成像。
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公开(公告)号：CN110128028A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910344957.0
申请日：2019-04-26
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种用于真空紫外波段的铝基高反射镜的制备方法，包括以下步骤：(1)取清洗干净的基板置于镀膜机的真空室中，蒸镀一层Al膜；(2)继续在步骤(1)的Al膜上蒸镀一层LiF膜，得到Al/LiF基板；(3)在加热条件下，继续往步骤(2)中的Al/LiF基板的LiF膜上蒸镀MgF2膜；(4)停止加热，自然冷却，即得到目的产物。与现有技术相比，本发明的制备的Al/LiF/MgF2反射镜在真空紫外115nm以下波段的反射率优于该波段反射镜的反射率，方法工艺重复性高，可控性强，在真空紫外波段天文观测、自由电子激光装置、同步辐射束线建设与应用领域均有重要应用。
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