公开(公告)号：CN106769883A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611240849.1

申请日：2016-12-29

Applicant: 同济大学

Inventor： 李文斌 ,  徐海钊 ,  张哲 ,  王占山

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01N21/17 ,  G01N21/01 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/102

Abstract: 本发明涉及一种Schwarzschild物镜焦平面定位装置及定位方法，所述定位装置包括：LED照明组件，产生LED光并聚焦；样品移动组件，设置于LED照明组件和Schwarzschild物镜之间；铝薄膜样品，固定于样品移动组件上，用于承受激光等离子体光源聚焦辐照损伤和LED光背光照明；反射组件，与真空连接管连接，并插入真空连接管内；探测组件，与真空连接管连接，用于根据所述反射组件反射的光路进行铝薄膜样品成像，确定Schwarzschild物镜的焦平面，所述探测组件和反射组件位于真空连接管的两侧；计算机，分别连接样品移动组件和探测组件，控制样品移动组件的运动，并接收探测组件的成像信号。与现有技术相比，本发明具有定位精度高，实验效率快等优点。

公开(公告)号：CN106769883B

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201611240849.1

申请日：2016-12-29

Applicant: 同济大学

Inventor： 李文斌 ,  徐海钊 ,  张哲 ,  王占山

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明涉及一种Schwarzschild物镜焦平面定位装置及定位方法，所述定位装置包括：LED照明组件，产生LED光并聚焦；样品移动组件，设置于LED照明组件和Schwarzschild物镜之间；铝薄膜样品，固定于样品移动组件上，用于承受激光等离子体光源聚焦辐照损伤和LED光背光照明；反射组件，与真空连接管连接，并插入真空连接管内；探测组件，与真空连接管连接，用于根据所述反射组件反射的光路进行铝薄膜样品成像，确定Schwarzschild物镜的焦平面，所述探测组件和反射组件位于真空连接管的两侧；计算机，分别连接样品移动组件和探测组件，控制样品移动组件的运动，并接收探测组件的成像信号。与现有技术相比，本发明具有定位精度高，实验效率快等优点。

公开(公告)号：CN105388102A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510982452.9

申请日：2015-12-24

Applicant: 同济大学

Inventor： 李文斌 ,  王占山 ,  王新 ,  原晓峰 ,  徐海钊 ,  穆宝忠

IPC: G01N17/00

CPC classification number: G01N17/004

Abstract: 本发明涉及一种薄膜材料极紫外辐射损伤实验平台，包括依次连接的控制单元、Nd:YAG激光器(1)、光路单元、真空腔单元和极紫外CCD探测器(11)，所述极紫外CCD探测器(11)与控制单元连接，所述真空腔单元包括真空腔和依次设置在真空腔内的聚焦透镜(6)、靶材(7)、第一锆片(12)、Schwarzschild物镜(13)和用于放置待测光学薄膜样品的三维位移样品台(14)，所述极紫外CCD探测器(11)伸入真空腔内并对准靶材(7)。与现有技术相比，本发明具有测量准确可靠、便于安装调试等优点。