公开(公告)号：CN103323474A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201210076770.5

申请日：2012-03-21

Applicant: 同济大学

Inventor： 朱京涛 ,  黄秋实 ,  宋竹青 ,  王占山

IPC: G01N23/22

Abstract: 本发明涉及一种基于薄膜标记层的多层膜结构的表征方法，在多层膜结构内特定位置插入合适材料的标记膜层，以在电镜测试过程中确定不同区域膜层的位置，从而利用高倍数电镜对多层膜膜系整体结构实现精确拼接和表征。与现有技术相比，本发明利用薄膜标记层的方法，克服了传统电镜在表征厚多层膜或非周期多层膜结构时，由于无法同时实现大视场和高分辨率，不同区域膜层拼接的位置误差对膜系整体结构测试造成的影响，是对多层膜结构进行纳米级精确表征的有效方法，为高精度多层膜元件的制作提供保证。

公开(公告)号：CN103323474B

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201210076770.5

申请日：2012-03-21

Applicant: 同济大学

Inventor： 朱京涛 ,  黄秋实 ,  宋竹青 ,  王占山

IPC: G01N23/22

Abstract: 本发明涉及一种基于薄膜标记层的多层膜结构的表征方法，在多层膜结构内特定位置插入合适材料的标记膜层，以在电镜测试过程中确定不同区域膜层的位置，从而利用高倍数电镜对多层膜膜系整体结构实现精确拼接和表征。与现有技术相比，本发明利用薄膜标记层的方法，克服了传统电镜在表征厚多层膜或非周期多层膜结构时，由于无法同时实现大视场和高分辨率，不同区域膜层拼接的位置误差对膜系整体结构测试造成的影响，是对多层膜结构进行纳米级精确表征的有效方法，为高精度多层膜元件的制作提供保证。