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公开(公告)号:CN119744116A
公开(公告)日:2025-04-01
申请号:CN202411911439.X
申请日:2024-12-24
Applicant: 同济大学
IPC: H10N97/00
Abstract: 本发明涉及一种钡钛基铁电厚膜及其制备方法,制备方法包括:1)配制钡前驱体稀、浓溶液,钛前驱体稀、浓溶液溶液,将钡、钛前驱体稀溶液混合搅拌并陈化,得到稀凝胶,将钡、钛前驱体浓溶液混合搅拌并陈化,得到浓凝胶;2)在基底上用稀凝胶旋涂多次,每次旋涂后干燥和加热,得到稀溶胶三维网状附着层并烧结,得到第一阶段基底;3)在第一阶段基底上用稠凝胶旋涂多次,每次旋涂后干燥和加热,得到稠溶胶填充粘滞贴合层并烧结,得到第二阶段基底;4)将第二阶段基底退火处理,得到钡钛基铁电厚膜。与现有技术相比,本发明所得到的铁电膜厚度为150‑250μm,相较于目前其他的致密度差的铁电膜,具有较好的厚度,意味着可能产生更大的铁电效应。