公开(公告)号：CN106546637A

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201610977931.6

申请日：2016-11-08

Applicant: 吉林大学

Inventor： 阮圣平 ,  申婧丽 ,  周敬然 ,  温善鹏 ,  郭文滨 ,  沈亮 ,  董玮 ,  张歆东 ,  陈川 ,  孙亮

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种以Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒为敏感层的乙酸乙酯气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属插指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒敏感层组成；其中Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒的粒径为1～1.2μm。本发明的乙酸乙酯气体传感器，Al掺杂到立方体结构In2O3微米颗粒中引起晶格缺陷，这些晶格缺陷有利于提高气敏材料的气敏响应。同时本发明的工艺简单、制得的乙酸乙酯气体传感器体积小、适于大批量生产，因而具有重要的应用价值。本发明具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点，对乙酸乙酯气体具有良好的检测性能。

公开(公告)号：CN106546637B

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201610977931.6

申请日：2016-11-08

Applicant: 吉林大学

Inventor： 阮圣平 ,  申婧丽 ,  周敬然 ,  温善鹏 ,  郭文滨 ,  沈亮 ,  董玮 ,  张歆东 ,  陈川 ,  孙亮

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种以Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒为敏感层的乙酸乙酯气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。由Al2O3衬底、Pd金属叉指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒敏感层组成；其中Al掺杂的立方体结构In2O3微米颗粒的粒径为1～1.2μm。Al掺杂到立方体结构In2O3微米颗粒中引起晶格缺陷，这些晶格缺陷有利于提高气敏材料的气敏响应。本发明具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点，对乙酸乙酯气体具有良好的检测性能。