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公开(公告)号:CN107978661B
公开(公告)日:2019-12-24
申请号:CN201711092025.9
申请日:2017-11-08
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种带有极化诱导p型掺杂层的氮极性蓝紫光LED芯片及制备方法,属于半导体发光器件技术领域。由(0001)面蓝宝石衬底、低温GaN缓冲层、氮极性GaN模板层、n‑GaN电子注入层、多量子阱有源层、极化诱导p型掺杂空穴注入层组成,其中氮极性GaN模板层中有SiNx掩膜层,极化诱导p型掺杂空穴注入层上设置有p电极,n‑GaN电子注入层有一裸露台面,在其上设置有n电极;本发明采用斜切的蓝宝石衬底,提高外延片的晶体质量及表面平整度;氮极性GaN模板层中原位插入SiNx掩膜,有效阻挡位错同时降低非故意掺杂的浓度,提高内量子效率;采用Al组分线性增加的掺Mg的AlGaN制作形成为极化诱导p型掺杂空穴注入层,提高空穴的浓度,提高电注入效率。
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公开(公告)号:CN105957934B
公开(公告)日:2018-02-13
申请号:CN201610263454.7
申请日:2016-04-26
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种n‑SiC衬底AlGaN基垂直结构谐振腔紫外LED芯片及其制备方法,属于半导体发光器件领域。其依次由下电极层、n‑SiC衬底、n‑Alx0Ga1‑x0N导电缓冲层、n‑AlGaN基DBR下反射层、n‑Alx1Ga1‑x1N电流扩展层、AlGaN基极化诱导隧道结、p‑Alx2Ga1‑x2N空穴注入层、AlGaN基量子阱有源区、n‑Alx3Ga1‑x3N电子注入层、n‑AlGaN基DBR上反射层和上电极层构成,0.1≤x0、x1、x2、x3≤0.9。采用与AlGaN晶格更匹配的SiC衬底,改善AlGaN质量,提高内量子效率;利用谐振腔结构,增强TE模偏振光,提高器件光提取效率;通过隧道结实现结构倒置,减弱了极化电场的影响,提高量子阱内载流子复合发光效率。本发明进一步拓展了半导体紫外发光器件的应用范围。
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公开(公告)号:CN107978661A
公开(公告)日:2018-05-01
申请号:CN201711092025.9
申请日:2017-11-08
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种带有极化诱导p型掺杂层的氮极性蓝紫光LED芯片及制备方法,属于半导体发光器件技术领域。由(0001)面蓝宝石衬底、低温GaN缓冲层、氮极性GaN模板层、n-GaN电子注入层、多量子阱有源层、极化诱导p型掺杂空穴注入层组成,其中氮极性GaN模板层中有SiNx掩膜层,极化诱导p型掺杂空穴注入层上设置有p电极,n-GaN电子注入层有一裸露台面,在其上设置有n电极;本发明采用斜切的蓝宝石衬底,提高外延片的晶体质量及表面平整度;氮极性GaN模板层中原位插入SiNx掩膜,有效阻挡位错同时降低非故意掺杂的浓度,提高内量子效率;采用Al组分线性增加的掺Mg的AlGaN制作形成为极化诱导p型掺杂空穴注入层,提高空穴的浓度,提高电注入效率。
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公开(公告)号:CN105957934A
公开(公告)日:2016-09-21
申请号:CN201610263454.7
申请日:2016-04-26
Applicant: 吉林大学
CPC classification number: H01L33/04 , H01L33/007 , H01L33/025 , H01L33/105
Abstract: 一种n‑SiC衬底AlGaN基垂直结构谐振腔紫外LED芯片及其制备方法,属于半导体发光器件领域。其依次由下电极层、n‑SiC衬底、n‑Alx0Ga1‑x0N导电缓冲层、n‑AlGaN基DBR下反射层、n‑Alx1Ga1‑x1N电流扩展层、AlGaN基极化诱导隧道结、p‑Alx2Ga1‑x2N空穴注入层、AlGaN基量子阱有源区、n‑Alx3Ga1‑x3N电子注入层、n‑AlGaN基DBR上反射层和上电极层构成,0.1≤x0、x1、x2、x3≤0.9。采用与AlGaN晶格更匹配的SiC衬底,改善AlGaN质量,提高内量子效率;利用谐振腔结构,增强TE模偏振光,提高器件光提取效率;通过隧道结实现结构倒置,减弱了极化电场的影响,提高量子阱内载流子复合发光效率。本发明进一步拓展了半导体紫外发光器件的应用范围。
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公开(公告)号:CN201382901Y
公开(公告)日:2010-01-13
申请号:CN200920093112.0
申请日:2009-03-04
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本实用新型涉及一种便携式痕量金快速分析仪。分析仪由电磁阀、蠕动泵经驱动电路与单片机连接,多功能化学发光池与光电倍增管封装在同一暗盒中,并与单片机连接构成。开机后设定负高压、输入标样、将制备好的待测试样上清液送入分析仪,在多功能化学发光池内AuCl4-氧化鲁米诺产生化学发光,光电倍增管采集化学发光信号,经A/D转换送入单片机,得所测试样AuCl4-含量,实现了痕量金自动化测定,分析仪灵敏度高,所有操作步骤在单片机控制下完成,数据经处理后直接给出分析结果,并将数据记录在存储介质中,以备检查或查阅,与现有技术相比不仅提高了测试精度、分析效率,降低分析成本,还减轻了分析人员的劳动强度。
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