公开(公告)号：CN208818603U

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201821630891.9

申请日：2018-10-02

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王东方 ,  夏操 ,  杜旭 ,  郑果文 ,  万胜来 ,  冯昊楠 ,  滕浩 ,  安临君 ,  杨旭 ,  刘欣 ,  殷志富 ,  王昕 ,  张志宇

IPC: G01N5/02

Abstract: 本实用新型涉及一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，属于传感器领域。包括一级谐振梁、一级谐振梁支撑结构、底座、回收槽，一级谐振梁的一端沉积有一级压电激振结构，另一端沉积有一级压电拾振结构，二级谐振梁阵列通过二级谐振梁阵列支撑结构固定于二级压电激振结构上方，有参考梁和检测梁；二级压电拾振结构沉积于二级谐振梁阵列的固定端。优点是结构新颖，通过建立多孔颗粒的气体吸附量与微悬臂梁谐振频率偏移量和气体压强间的关系，利用BET重量法，实现了比表面积的精确表征。降低了多孔颗粒比表面积表征的样品质量下限，极大的提高了传感器的精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利