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公开(公告)号:CN112326719A
公开(公告)日:2021-02-05
申请号:CN202011349949.4
申请日:2020-11-26
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N25/14
Abstract: 本发明公开了一种光刻胶升华物测试模型,包括冷却水恶化测试、光刻胶、基板、硅片和加热设备HP,通过在硅片上旋涂光刻胶,抽真空去除光刻胶溶剂,加热设备HP烘烤接收升华物观察硅片上升华物的量。本发明通过模型创新的地方是高度还原了HP设备的烘烤条件,并优化加入了冷却水恶化测试,提前规避光刻胶材料升华物严重这一问题给生产设备造成严重污染,极大提高了设备洁净度、良率及产能,增加冷却水恶化测试、测试条件优化,输出了标准的Fume评价模型,作为后续所有光刻胶材料导入的评价基准,并增加到光刻胶Check List中,极大程度上解放了人力物力。
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公开(公告)号:CN217907949U
公开(公告)日:2022-11-29
申请号:CN202221777877.8
申请日:2022-07-12
Applicant: 吉林大学
Abstract: 脊柱用关节面和皮质双锚定的中空导向性骶1螺钉,包括骶1钛合金螺钉、螺母和导丝;骶1钛合金螺钉包括钉体和钉尾;钉体轴向贯穿设有引导孔,钉体从上至下依次包括内凹式槽体连接区、第一皮质骨螺纹区、松质骨螺纹区和第二皮质骨螺纹区,引导孔可在导丝的引导下准确置入预定的部位,通过螺母与腰椎上的固定螺钉相偶联;槽体连接区上端面设有内六角式旋拧孔;钉尾上端设有贯穿的卡槽,卡槽内设有螺纹,且钉尾外壁对称设有把持孔;钉尾转动限位在骶1钛合金螺钉的槽体连接区外侧;螺母外部螺纹可与钉尾卡槽内的螺纹相互咬合锁紧,螺母内设有内六角孔。
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