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公开(公告)号:CN106756796A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201710138326.4
申请日:2017-03-09
Applicant: 吉林大学
CPC classification number: C23C14/185 , C22C9/00 , C22C2200/04 , C23C14/35 , C23C14/5806
Abstract: 本发明公开了一种提高纳米晶铜力学性能的纳米晶铜钽合金的制备方法,属于纳米材料力学技术领域。该制备方法包括预处理过程、磁控溅射沉积薄膜过程,最终得到具有很好热稳定性和抗蠕变的纳米晶材料。本发明采用磁控溅射沉积的方法,是一种操作比较简单,结构相对容易控制,成本较低的方法。通过本发明制备的纳米晶铜钽合金经过X射线衍射和透射电镜发现,其在150℃和200℃下不会发生晶粒生长,具有明显优于纳米晶铜的热稳定性;通过纳米压痕仪测试发现,纳米晶铜钽合金抵抗蠕变的性能也优于纳米晶铜。这表明所制备的纳米晶铜钽合金具有良好的热稳定、抗蠕变等力学性能,具有非常好的应用前景。