公开(公告)号：CN104028890A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201410258805.6

申请日：2014-06-11

Applicant: 吉林大学

Inventor： 周晓勤 ,  侯燚红 ,  林洁琼 ,  王文攀

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/082

CPC classification number: B23K26/0823 ,  B23K26/083 ,  B23K26/0869

Abstract: 本发明涉及一种大行程柱坐标双光子聚合加工方法及装置，属于微纳制造技术领域。将试件以共轴或离轴方式安装在一个C轴转台上，C轴转台绕z轴作回转运动，使飞秒激光束相对于试件作周向运动，C轴安装在x轴溜板上沿x向作直线进给运动，使飞秒激光束相对于试件作径向运动，通过二维振镜绕x和y轴的摆动，使飞秒激光束沿C轴转台之径向作快速往复摆动，通过z轴溜板沿z向的平动，获得飞秒激光束聚焦中心沿z向的进给运动，当试件以离轴方式安装，可实时改变C轴转台的转速，以使飞秒激光束在每个预期的扫描位置获得大小相同的速度。本发明所述方法及装置避免了运动轴回退、可快速精密跟踪有扰动的路径，实现大面积三维微纳结构的快速加工。

公开(公告)号：CN104028890B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201410258805.6

申请日：2014-06-11

Applicant: 吉林大学

Inventor： 周晓勤 ,  侯燚红 ,  林洁琼 ,  王文攀

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/082

Abstract: 本发明涉及一种大行程柱坐标双光子聚合加工方法及装置，属于微纳制造技术领域。将试件以共轴或离轴方式安装在一个C轴转台上，C轴转台绕z轴作回转运动，使飞秒激光束相对于试件作周向运动，C轴安装在x轴溜板上沿x向作直线进给运动，使飞秒激光束相对于试件作径向运动，通过二维振镜绕x和y轴的摆动，使飞秒激光束沿C轴转台之径向作快速往复摆动，通过z轴溜板沿z向的平动，获得飞秒激光束聚焦中心沿z向的进给运动，当试件以离轴方式安装，可实时改变C轴转台的转速，以使飞秒激光束在每个预期的扫描位置获得大小相同的速度。本发明所述方法及装置避免了运动轴回退、可快速精密跟踪有扰动的路径，实现大面积三维微纳结构的快速加工。

公开(公告)号：CN203900734U

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201420310390.8

申请日：2014-06-11

Applicant: 吉林大学

Inventor： 周晓勤 ,  侯燚红 ,  林洁琼 ,  王文攀

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/082

Abstract: 本实用新型涉及一种大行程柱坐标双光子聚合加工装置，属于微纳制造技术领域。包括支座、大理石、振镜箱体、x轴溜板与气浮直线导轨一滑动连接，直线电机一与气浮直线导轨一连接，C轴转台叠放在x轴溜板上，底座与C轴转台固定连接，z轴溜板与气浮直线导轨二滑动连接，直线电机与气浮直线导轨二连接，气浮直线导轨二连接在底板上，z轴溜板上通过内六角圆柱头螺钉安装有气缸连接座，气缸的缸体通过螺纹安装在气缸安装座上，振镜箱体通过4个内六角圆柱头螺钉安装在z轴溜板上，二维振镜安装在振镜支座上。优点是结构新颖，避免了运动轴回退、可快速精密跟踪有扰动的路径，实现大面积三维微纳结构的快速加工。