公开(公告)号：CN116551608A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202310820324.9

申请日：2023-07-06

申请人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司

发明人： 杨玉恒 ,  桂查明

IPC分类号： B25B11/02

摘要： 本发明提供抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法，抛光台的上抛光盘包括至少一个第一定位槽，下抛光盘包括至少一个第一定位件，抛光台辅助装配治具包括第一环形件、第二环形件、至少一组第一定位组件及至少一组第二定位组件，第一环形件可拆卸环设于上抛光盘周向，任一第一定位组件与第一环形件连接，第二环形件可拆卸环设于下抛光盘周向，任一第二定位组件与第二环形件连接，任一第一定位组件包括第二定位件，任一第二定位组件包括第三定位件，第二定位件与对应的第三定位件对准连接时，任一第一定位件嵌设于对应的第一定位槽内；本发明中抛光台辅助装配治具能有效实现上抛光盘与下抛光盘的精准装配，安装过程安全、可靠、快捷。

公开(公告)号：CN116551608B

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202310820324.9

申请日：2023-07-06

申请人： 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司

发明人： 杨玉恒 ,  桂查明

IPC分类号： B25B11/02

摘要： 本发明提供抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法，抛光台的上抛光盘包括至少一个第一定位槽，下抛光盘包括至少一个第一定位件，抛光台辅助装配治具包括第一环形件、第二环形件、至少一组第一定位组件及至少一组第二定位组件，第一环形件可拆卸环设于上抛光盘周向，任一第一定位组件与第一环形件连接，第二环形件可拆卸环设于下抛光盘周向，任一第二定位组件与第二环形件连接，任一第一定位组件包括第二定位件，任一第二定位组件包括第三定位件，第二定位件与对应的第三定位件对准连接时，任一第一定位件嵌设于对应的第一定位槽内；本发明中抛光台辅助装配治具能有效实现上抛光盘与下抛光盘的精准装配，安装过程安全、可靠、快捷。