一种氮化铝陶瓷覆铜基板的制备方法

    公开(公告)号:CN109608221A

    公开(公告)日:2019-04-12

    申请号:CN201811451315.2

    申请日:2018-11-30

    发明人: 何飞

    IPC分类号: C04B37/02 C04B41/88

    摘要: 本发明涉及一种氮化铝陶瓷覆铜基板的制备方法,包括以下步骤:(1)将氮化铝基板浸入除油溶液中,用超声清洗工艺清洗;(2)去掉氮化铝基板表面氧化层;(3)将氮化铝置于真空加热炉内进行热处理;(4)采用能量束辐射到陶瓷基板与铜箔结合面上,形成活性结合面;(5)将形成活性结合面的陶瓷基板置于一真空腔室内;(6)将N2通过该腔室内,启动溅镀镍靶材,形成离子束溅击,形成镀镍陶瓷基板;(7)将镀镍陶瓷基板与清洗后的铜箔待焊接部位以相对形式贴合,然后置于真空扩焊炉中进行扩焊焊接。本发明解决现有铜箔与氮化铝陶瓷基板结合力不足,通过减少两者之间的空隙率,提高两者的结合力,增强氮化铝陶瓷覆铜基板的强度。