一种对盒设备、对位方法

    公开(公告)号:CN104808370B

    公开(公告)日:2017-10-31

    申请号:CN201510268313.X

    申请日:2015-05-22

    IPC分类号: G02F1/13 G02F1/1333

    摘要: 本发明涉及一种对盒设备,包括用于承载第一基板的第一基台和用于承载第二基板的第二基台,第一基台具有相对设置的、用于吸附第一基板的第一吸附面和第二吸附面;用于调整第一基台的位置、以使得第一基板与第二基板进行预对位的预对位装置;对盒设备还包括:通过翻转第一基台以翻转第一基板的翻转装置;用于调整第二基台的位置以使得翻转后的第一基板和第二基板进行对位的对位装置;用于控制第一基板移动以使得第一基板和第二基板对盒的对盒装置。本发明还提供一种对位方法。预对位装置、翻转装置、对位装置、对盒装置的集成设置,缩短了基板运输流程;提高工作效率,保证了第一基板和第二基板对位的高效性。