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发明公开
具清洁功能的电浆产生装置无效

公开(公告)号：CN101348899A

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN200710130551.X

申请日：2007-07-16

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 林瑞堉 , 王腾纬 , 郭明村 , 寇崇善 , 黄崇杰 , 俞志杰

IPC: C23C16/00 , H05H1/46

Abstract: 本案揭示一种具清洁功能的电浆产生装置，用以提供一电浆以清洁一绝缘板，该电浆产生装置包含至少一电浆源与一可动部件，其中该电浆源是位于该绝缘板远离该电浆的一第一侧以透过该绝缘板而产生该电浆，该可动部件则是位于该绝缘板远离该电浆源的一第二侧，以结合于该绝缘板并形成一封闭空间而容置该电浆，进而使该电浆清洁该绝缘板。本发明能有效改善电浆产生装置在辅助化学气相沉积过程中所产生的镀膜很容易附着于处理腔室的内部腔壁而造成处理腔室中电磁波输入端的绝缘板的有效泄露区间缩减并导至电浆有效强度相应减小的现象。

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