公开(公告)号：CN117568760A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202311298411.9

申请日：2023-10-09

Applicant: 厦门理工学院

Inventor： 谢安 ,  严育杰 ,  秦浩然 ,  杨光 ,  王义 ,  李月婵 ,  孙东亚

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种用于磁控溅射制备多孔金属氧化物纳米薄膜的方法，包括以下步骤：S1，将一定质量和直径的聚苯乙烯微球悬浮液与乙醇和去离子水按一定比例共混制得一定浓度的聚苯乙烯微球溶液；S2，通过旋涂机将聚苯乙烯微球溶液旋涂在处理后的基底ITO玻璃上，并将旋涂样品通过加热台进行烘干处理；S3，通过磁控溅射机将金属靶材溅射到旋涂样品上，生成金属氧化物薄膜；S4，对金属氧化物薄膜中的聚苯乙烯微球进行碳化去除处理，得到具有多孔结构的金属氧化物纳米薄膜。本发明利用聚苯乙烯微球为纳米级模板，可实现孔洞尺寸和分布可控的用于磁控溅射制备纳米级多孔金属氧化物纳米薄膜的方法，其可实现更高的薄膜比表面积和比电容。