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公开(公告)号：CN113249774A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110746470.2
申请日：2021-07-01
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆类产品电镀挂具的自动上下料机构，包括Y向挂具插座、电镀挂具、X向滑动组件、P轴翻转驱动组件、翻转支撑组件以及上下料吸盘组件；电镀挂具插设在所述Y向挂具插座上，且至少一侧面设有一料槽；所述P轴翻转驱动组件位于电镀挂具的料槽侧，并通过X向滑动组件的带动沿X向靠近或远离所述电镀挂具；上下料吸盘组件通过所述翻转支撑组件连接所述P轴翻转驱动组件上，且所述P轴翻转驱动组件驱动所述翻转支撑组件在沿P轴翻转以及沿X向移动时，能带动所述上下料吸盘组件对准所述料槽完成晶圆类产品的上料或下料。本发明可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。
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公开(公告)号：CN111805122A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010778372.2
申请日：2020-08-05
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 新华海通(厦门)信息科技有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种片料冲切上下料设备及其操作方法，片料冲切上下料设备包括：机架、柔性供料器、物料载台、抓料机构、送料机构、下料滑轨、料盒及上部相机；柔性供料器、物料载台、抓料机构、送料机构及下料滑轨分别设置在机架上，柔性供料器、物料载台设置在抓料机构的行程范围内，下料滑轨设置在送料机构的行程范围内，料盒设置在下料滑轨的下方，上部相机设置在柔性供料器的上方。本发明片料冲切上下料设备与冲床搭配生产，代替人工作业，可实现冲切工序自动化，提高生产效率，充分利用现有冲床设备资源，减少固定资产闲置，采用自动化设备作业，一人可操作多台设备，降低人力成本，实现智能制造。
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公开(公告)号：CN113337871B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202110746454.3
申请日：2021-07-01
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
IPC: C25D17/00 , C25D7/12 , C25D17/08 , C25D21/10 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种晶圆类产品电镀上下料设备，包括工作台、晶圆盒装载装置、晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手、安装拆卸机构、电镀挂具以及晶圆治具；晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手以及安装拆卸机构均设于工作台上，电镀挂具则设在安装拆卸机构上；晶圆盒装载装置、晶圆校准器和翻转机械手处于晶圆机器人的晶圆取料手臂的操作范围内；安装拆卸机构处于翻转机械手的操作范围内，在上料操作时，是将晶圆类产品连同所述晶圆治具锁附在电镀挂具上，并在下料操作时，是将晶圆类产品连同晶圆治具从电镀挂具上解锁并取下。本发明可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。
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公开(公告)号：CN113337871A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110746454.3
申请日：2021-07-01
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
IPC: C25D17/00 , C25D7/12 , C25D17/08 , C25D21/10 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种晶圆类产品电镀上下料设备，包括工作台、晶圆盒装载装置、晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手、安装拆卸机构、电镀挂具以及晶圆治具；晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手以及安装拆卸机构均设于工作台上，电镀挂具则设在安装拆卸机构上；晶圆盒装载装置、晶圆校准器和翻转机械手处于晶圆机器人的晶圆取料手臂的操作范围内；安装拆卸机构处于翻转机械手的操作范围内，在上料操作时，是将晶圆类产品连同所述晶圆治具锁附在电镀挂具上，并在下料操作时，是将晶圆类产品连同晶圆治具从电镀挂具上解锁并取下。本发明可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。
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公开(公告)号：CN111745034A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010743835.1
申请日：2020-07-29
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 新华海通(厦门)信息科技有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种板料冲切上下料设备，包括：机架、机械手机构、升降机构、提升机构、落料滑轨及废料盒；升降机构设置在机架上，升降机构的顶部设有物料载台，提升机构设置在升降机构一侧的机架上，提升机构的顶端设有吸盘，吸盘的底面朝向升降机构的物料载台顶面，所述机械手机构设置在升降机构与提升机构相对的一侧机架上，机械手机构包括X轴模组、Y轴模组及夹料模组，X轴模组固定在机架上，Y轴模组可滑动的设置在X轴模组上，夹料模组可伸缩的设置在Y轴模组上，落料滑轨设置在升降机构与机械手机构之间的机架上，所述废料盒设置在落料滑轨的下方。本发明可代替人工手动上料，实现冲切工序自动化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN214898377U
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202121490414.9
申请日：2021-07-01
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 本实用新型公开了一种伯努利吸盘装置，包括底板、气囊、伯努利吸盘体、伯努利吸盘、弹簧连接件以及气管接头；所述伯努利吸盘体通过所述气囊压设于所述底板上，所述伯努利吸盘设在所述伯努利吸盘体上并连接所述气管接头；所述伯努利吸盘上开设有多个通气孔；所述弹簧连接件的数量为多个，分布于所述伯努利吸盘的下表面，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气后，通过所述弹簧连接件的回弹作用而复位。本实用新型可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。
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公开(公告)号：CN215887273U
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202121488353.2
申请日：2021-07-01
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
IPC: C25D17/00 , C25D7/12 , C25D17/08 , C25D21/10 , H01L21/677
Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆类产品电镀上下料设备，包括工作台、晶圆盒装载装置、晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手、安装拆卸机构、电镀挂具以及晶圆治具；晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手以及安装拆卸机构均设于工作台上，电镀挂具则设在安装拆卸机构上；晶圆盒装载装置、晶圆校准器和翻转机械手处于晶圆机器人的晶圆取料手臂的操作范围内；安装拆卸机构处于翻转机械手的操作范围内，在上料操作时，是将晶圆类产品连同所述晶圆治具锁附在电镀挂具上，并在下料操作时，是将晶圆类产品连同晶圆治具从电镀挂具上解锁并取下。本实用新型可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。
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公开(公告)号：CN215825306U
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202121489733.8
申请日：2021-07-01
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种翻转机械手，包括安装座、Z轴直线模组、升降固定架、U轴旋转模组、旋转架、V轴旋转模组、旋转臂以及吸盘；Z轴直线模组设置于安装座上；升降固定架连接Z轴直线模组上，能在所述Z轴直线模组的驱动下沿Z轴升降；U轴旋转模组设置于升降固定架上；旋转架连接所述U轴旋转模组，能在所述U轴旋转模组的驱动下绕U轴旋转至少90度；V轴旋转模组设置于所述旋转架上；旋转臂连接于所述V轴旋转模组，并能在所述V轴旋转模组的驱动下绕V轴周期翻转180度；所述吸盘连接所述旋转臂上，用于吸附产品。本实用新型可实现产品的翻转和搬运，配合完成自动上下料操作，节省换料时间，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN214898376U
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202121488232.8
申请日：2021-07-01
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/677
Abstract: 本实用新型公开了一种上下料设备的吸盘翻转装置，包括P轴翻转驱动组件、翻转支撑组件以及上下料吸盘组件；所述P轴翻转驱动组件具有一P向翻转轴，所述翻转支撑组件枢接于所述P向翻转轴上；所述翻转支撑组件具有一W旋转轴；所述上下料吸盘组件连接在所述W旋转轴上；且所述P轴翻转驱动组件驱动所述翻转支撑组件在沿P轴翻转时，能带动所述上下料吸盘组件处于水平或竖直状态，所述翻转支撑组件驱动所述上下料吸盘组件旋转一定小角度，从而能对竖直目标料槽完成产品的上料或下料；其中，P向翻转轴与W旋转轴垂直。本实用新型可实现晶圆类产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。
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公开(公告)号：CN212917198U
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202021536113.0
申请日：2020-07-29
Applicant: 厦门柔性电子研究院有限公司 , 新华海通(厦门)信息科技有限公司 , 厦门钜德电子科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种板料机械手，包括：X轴模组、Y轴模组及夹料模组，X轴模组固定在机架上，Y轴模组可滑动的设置在X轴模组上，夹料模组可伸缩的设置在Y轴模组上，所述夹料模组包括气缸固定板、Z轴气缸、支架、夹爪固定板及气动夹爪；气缸固定板固定在Y轴滑块上，Z轴气缸固定在气缸固定板上，且Z轴气缸的推板朝上，支架的一端与Z轴气缸的推板固定配合在一起，支架的另一端连接夹爪固定板，夹爪固定板的后端与支架连接，夹爪固定板的前端形成夹料区，夹爪固定板于夹料区的两相对侧分别设有所述气动夹爪。本实用新型可代替人工手动上下料，实现冲切工序自动化。
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