公开(公告)号：CN117492318A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311715203.4

申请日：2023-12-13

Applicant: 厦门天马微电子有限公司

Inventor： 陈填源 ,  李梁杰 ,  彭旭辉 ,  郑振伟 ,  黄燕燕 ,  吴树茂 ,  王志杰 ,  赖国昌

IPC: G03F1/40 ,  H05F3/00 ,  G09F9/35 ,  G09F9/33

Abstract: 本发明公开了一种光罩组件及显示面板，光罩组件包括：第一图案层，第一图案层包括第二图案部，以及围绕第二图案部的第一图案部，第一图案部具有第一边缘，第一边缘与第一图案层的边缘至少部分重合，至少部分第一图案部的第一边缘设有向第二图案部凹陷的第一凹槽部；静电防护部，在垂直第一图案层所在平面的方向上，静电防护部与第一凹槽部投影至少部分交叠。通过静电防护部以将光罩组件在生产、运输、曝光使用等过程中所产生的静电从第一边缘处导走、释放，避免光罩组件的边缘出现静电击伤，有效提高了产品生产良率，降低了成本。

公开(公告)号：CN117784514A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311844249.6

申请日：2023-12-28

Applicant: 厦门天马微电子有限公司

Inventor： 陈填源 ,  郑振伟 ,  黄燕燕 ,  李梁杰 ,  吴树茂 ,  赖国昌

IPC: G03F1/26 ,  G03F7/20

Abstract: 本申请公开了一种掩膜板及其制备方法、曝光装置，掩膜板包括第一掩膜区和第二掩膜区，第一掩膜区包括多个第一遮光区，沿第一方向相邻的两个第一遮光区之间包括第一透光区；第二掩膜区与第一掩膜区沿第一方向排列，第二掩膜区包括多个第二遮光区，沿第一方向相邻的两个第二遮光区之间包括第二透光区；第二透光区的宽度大于第一透光区的宽度，第二透光区包括第一预设透光区和第二预设透光区，第二预设透光区沿第一方向位于第一预设透光区的两侧，第一预设透光区的宽度大于第二预设透光区的宽度，至少部分靠近第一预设透光区的第二预设透光区的宽度大于远离第一预设透光区的第二预设透光区的宽度。本申请提供的掩膜板可提升膜层制备良率。