一种基于基板堆叠键合的低损耗微带传输线

    公开(公告)号:CN119275519A

    公开(公告)日:2025-01-07

    申请号:CN202411529639.9

    申请日:2024-10-30

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明提供一种基于基板堆叠键合的低损耗微带传输线,包括上载板层、镂空传输层、下载板层、第一键合层和第二键合层;在所述上载板层的下表面设有第一金属层,在所述下载板层的上表面设有第二金属层;所述第一金属层、第二金属层与所述镂空传输层的镂空区域共同构成传输区域;电磁波在所述传输区域上以准TEM模的形式传播;所述上载板层、第一键合层、镂空传输层、第二键合层、第二金属层和下载板层按序平行层叠并键合;使得层间紧密键合,结构平整稳定,保证层间不产生位移以及高度的改变。本发明具有低成本、低损耗的优势,适用于微波通信传输领域。因其还具有易加工、高集成和宽频带的特点,在使用多层板集成技术的场景中应用广泛。

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