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公开(公告)号：CN101700866A
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200910112688.1
申请日：2009-10-22
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种在衬底上实现微图案化的方法，涉及一种图案化方法。提供一种在衬底上实现微图案化的方法。制备有序多孔聚合物薄膜：将聚合物与有机溶剂配成质量分数为1％～5％的溶液，在相对湿度为80％～100％，温度为20～35℃环境下，在衬底上滴膜，得到蜂窝状有序多孔聚合物薄膜；制备有序多孔金掩膜：将有序多孔聚合物薄膜倾斜，在有序多孔聚合物薄膜上连续喷金后，置于氯仿或四氢呋喃中浸润，待聚合物完全溶解后，得有序多孔金掩膜；制备微图案化衬底：将覆盖有序多孔金掩膜的衬底从氯仿或四氢呋喃中取出，烘干，将蜂窝状有序排列的多孔微图案从聚合物薄膜转到衬底上，实现微图案化。
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