公开(公告)号：CN113851568A

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202110954861.3

申请日：2021-08-19

Applicant: 厦门大学

Inventor： 吴挺竹 ,  林万胜 ,  潘建华 ,  卢霆威 ,  郭伟杰 ,  林岳 ,  陈国龙 ,  郭自泉 ,  吕毅军 ,  陈忠

IPC: H01L33/44 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H04B10/116

Abstract: 一种利用原子层沉积技术提高微型LED调制带宽的办法，涉及光通信技术领域。提供一种利用原子层沉积技术来提高微型LED调制带宽的办法；主要通过在Mini‑LED/Micro‑LED侧壁沉积一定厚度的ALD来降低载流子寿命以获得较高的调制带宽，并最终实现提高VLC通信速率的目的；通过修复侧壁损伤，降低载流子寿命同时进一步提高器件调制带宽和发光强度的目的，通过降低载流子寿命以提高Mini‑LED/Micro‑LED调制带宽，从而进一步提高系统的通信速率；通过改善载流子寿命提高其发光强度，从而进一步增加系统的通信距离。对未来推动这种频谱丰富、高保密性高的通信方式的普遍应用有着积极促进作用。