公开(公告)号：CN116682879A

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202310704746.X

申请日：2023-06-14

Applicant: 厦门大学

Inventor： 张峰 ,  朱佰鸿 ,  孙存志 ,  张泽阳

IPC: H01L31/109 ,  H01L31/0312 ,  H01L31/18

Abstract: 一种响应度可调谐的石墨烯/4H‑SiC紫外探测器及制备，包括从下到上的4H‑SiC衬底、石墨烯层以及金属电极；石墨烯层呈叉指结构，叉指结构的两端上表面设有金属电极；不经过氢气处理使石墨烯与SiC产生界面态陷阱在阻挡从石墨烯到SiC的漏电流同时调控在不同偏压下器件的响应峰值，SiC沟槽增强石墨烯叉指边缘的电场同时阻挡漏电流的传输，紫外光照射探测器时，SiC中的光生载流子在叉指边缘增强电场的作用下通过具有不同能级的界面态转移到石墨烯，转移数量由偏压调控，使器件达到响应可调谐。适用于MSM结构的石墨烯/SiC光电探测器，能更好地实现二维材料与宽禁带半导体结合的紫外探测器的响应可调谐，并降低漏电流。

公开(公告)号：CN117059700A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202311024171.3

申请日：2023-08-15

Applicant: 厦门大学

Inventor： 张峰 ,  张泽阳 ,  孙存志 ,  朱佰鸿 ,  陈家栋 ,  付钊

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/109 ,  H01L31/0312 ,  H01L31/0224

Abstract: 石墨烯/4H‑SiC紫外‑红外光电探测器及制备方法，4H‑SiC通过刻蚀形成光栅结构。石墨烯电极覆盖于4H‑SiC光栅的顶部及侧壁。当紫外光入射时，由于石墨烯在紫外波段透明，可增加光敏面积，提高SiC对紫外光的吸收；当红外光入射时，石墨烯吸收光子形成电子空穴对，在电场的作用下分离。光栅结构增加紫外以及红外光在器件表面的反射与折射次数，起到陷光的作用，且光栅边缘处有电场增强，加速光生载流子的分离，提高电极捕获载流子的效率，提高光电流；石墨烯与SiC之间产生的界面态陷阱降低器件的暗电流。本发明能够增加光入射时产生的电子空穴对的数量，降低暗电流，使该器件在紫外与红外波段均具有较高的响应度和探测率。