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公开(公告)号：CN111810581B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202010581857.2
申请日：2020-06-23
Applicant: 厦门大学
IPC: F16F15/023 , F16F15/027
Abstract: 一种基于空气弹簧的大型精密隔振平台，包括隔振实验室空间、负载平台1、垂直空气弹簧隔振器2、水平空气弹簧隔振器3、高速电磁伺服阀6、气动系统和控制系统。所述的负载平台下面板由垂直空气弹簧隔振器和水平空气弹簧隔振支撑；所述的垂直空气弹簧隔振器负责平台的正刚度静态负载和局部被动隔振；所述的水平空气弹簧隔振器负责平台的负刚度调节和主动隔振；通过正负刚度调节降低隔振系统的固有频率，同时垂直空气弹簧与水平空气弹簧隔振器结合构成主被动复合控制；所述的空气弹簧隔振器上分别设有反馈传感器，用于检测空气弹簧气腔压力和负载平台对应位置的加速度；所述的控制系统包括控制器、动力单元和伺服阀。
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公开(公告)号：CN114294371B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202210017503.4
申请日：2022-01-08
Applicant: 厦门大学
IPC: F16F15/023
Abstract: 本发明提出了一种六自由度的空气弹簧隔振平台，包括高压气源、隔振负载、垂直隔振器和水平隔振器，垂直隔振器设置于隔振负载的四角，水平隔振器设置于垂直隔振器之间的区域，垂直隔振器中高压气源分别连接第一空气轴承和垂直空气弹簧，在第一空气轴承与底座之间形成供垂直隔振器移动和转动的第一压力气膜导轨，垂直空气弹簧通过调节内部压力衰减垂直隔振器受到的振动干扰；水平隔振器中高压气源分别连接第二空气轴承和水平空气弹簧，在第二空气轴承和水平空气弹簧之间形成供水平隔振器移动和转动的第二压力气膜导轨，水平空气弹簧通过两组水平空气弹簧之间的气路连通衰减水平隔振器受到的振动干扰。该平台能够保证高精密仪器的工作精度和可靠性。
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公开(公告)号：CN114294371A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202210017503.4
申请日：2022-01-08
Applicant: 厦门大学
IPC: F16F15/023
Abstract: 本发明提出了一种六自由度的空气弹簧隔振平台，包括高压气源、隔振负载、垂直隔振器和水平隔振器，垂直隔振器设置于隔振负载的四角，水平隔振器设置于垂直隔振器之间的区域，垂直隔振器中高压气源分别连接第一空气轴承和垂直空气弹簧，在第一空气轴承与底座之间形成供垂直隔振器移动和转动的第一压力气膜导轨，垂直空气弹簧通过调节内部压力衰减垂直隔振器受到的振动干扰；水平隔振器中高压气源分别连接第二空气轴承和水平空气弹簧，在第二空气轴承和水平空气弹簧之间形成供水平隔振器移动和转动的第二压力气膜导轨，水平空气弹簧通过两组水平空气弹簧之间的气路连通衰减水平隔振器受到的振动干扰。该平台能够保证高精密仪器的工作精度和可靠性。
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公开(公告)号：CN111810581A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010581857.2
申请日：2020-06-23
Applicant: 厦门大学
IPC: F16F15/023 , F16F15/027
Abstract: 一种基于空气弹簧的大型精密隔振平台，包括隔振实验室空间、负载平台1、垂直空气弹簧隔振器2、水平空气弹簧隔振器3、高速电磁伺服阀6、气动系统和控制系统。所述的负载平台下面板由垂直空气弹簧隔振器和水平空气弹簧隔振支撑；所述的垂直空气弹簧隔振器负责平台的正刚度静态负载和局部被动隔振；所述的水平空气弹簧隔振器负责平台的负刚度调节和主动隔振；通过正负刚度调节降低隔振系统的固有频率，同时垂直空气弹簧与水平空气弹簧隔振器结合构成主被动复合控制；所述的空气弹簧隔振器上分别设有反馈传感器，用于检测空气弹簧气腔压力和负载平台对应位置的加速度；所述的控制系统包括控制器、动力单元和伺服阀。
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