公开(公告)号：CN114594283A

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202210226999.6

申请日：2022-03-08

Applicant: 厦门大学

Inventor： 范贤光 ,  廖志鹏 ,  支瑜亮 ,  任斌

IPC: G01Q60/10

Abstract: 本发明公开了一种防串扰式扫描隧道显微镜扫描装置，运用于精密检测与纳米位移领域，包括：外壳、Z轴进针、样品台、XY轴位移台和步进粗调机构，通过通电的压电陶瓷产生形变使位移台产生弹性形变，运用闭环反馈来得到准确的纳米位移量，在赋予电压差的针尖与样品之间小于1nm时会产生隧道电流，通过读取隧道电流的大小来反馈出原子形貌，将Z轴与XY轴位移台分离，隔绝了容易发生扰动的Z轴对XY轴的干扰，XY轴位移台采用并联式上下叠加，通过陶瓷材料连接，有效减小扰动，采用了悬臂梁式柔性铰链机构来执行弹性形变，力学性能较好且较容易实现纳米位移，将针尖固定于Z轴上，避免多余的针尖装置，保证针尖垂直于样品台，保证扫描的准确性。

公开(公告)号：CN114594283B

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202210226999.6

申请日：2022-03-08

Applicant: 厦门大学

Inventor： 范贤光 ,  廖志鹏 ,  支瑜亮 ,  任斌

IPC: G01Q60/10

Abstract: 本发明公开了一种防串扰式扫描隧道显微镜扫描装置，运用于精密检测与纳米位移领域，包括：外壳、Z轴进针、样品台、XY轴位移台和步进粗调机构，通过通电的压电陶瓷产生形变使位移台产生弹性形变，运用闭环反馈来得到准确的纳米位移量，在赋予电压差的针尖与样品之间小于1nm时会产生隧道电流，通过读取隧道电流的大小来反馈出原子形貌，将Z轴与XY轴位移台分离，隔绝了容易发生扰动的Z轴对XY轴的干扰，XY轴位移台采用并联式上下叠加，通过陶瓷材料连接，有效减小扰动，采用了悬臂梁式柔性铰链机构来执行弹性形变，力学性能较好且较容易实现纳米位移，将针尖固定于Z轴上，避免多余的针尖装置，保证针尖垂直于样品台，保证扫描的准确性。