公开(公告)号：CN119846264A

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202510048283.5

申请日：2025-01-13

Applicant: 厦门大学

Inventor： 丁彦匀 ,  包一凡 ,  王俊 ,  王翔 ,  任斌

IPC: G01Q60/38 ,  G01Q70/16 ,  G01N21/65 ,  G01N27/26

Abstract: 本发明公开了一种功能化原子力显微镜(AFM)探针，其包括硅基材料的探针主体，所述探针主体包括基板、悬臂和针尖，悬臂由基板前端向外延伸，针尖位于悬臂自由端末端；探针主体表面按序覆盖金属层和第一绝缘层，其中针尖末端具有裸露于第一绝缘层之外并与金属层电性连接的金属尖端；基板尾端表面的金属层裸露于第一绝缘层之外并形成导电接触区域，所述导电接触区域与导线电性连接并覆盖有第二绝缘层。本发明还公开了其制备方法。本发明功能化AFM探针能同时满足电化学AFM(EC‑AFM)，EC‑TERS和SECM三种仪器的需求，能够利用单一探针同时实现对样品表面形貌、化学组成和电化学活性的高空间分辨表征，具备全面表征复杂电催化界面的能力。