公开(公告)号：CN102471888B

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201080028626.3

申请日：2010-06-09

Applicant: 原子能与替代能源委员会

Inventor： 卡罗琳·舒凯 ,  锡德里克·迪克罗 ,  杰罗姆·加维莱 ,  弗雷德里克·桑谢特

IPC: C23C16/56

CPC classification number: C30B33/12 ,  B05D1/202 ,  B05D1/265 ,  B05D1/32 ,  B05D3/142 ,  B05D2350/33 ,  B05D2401/32 ,  C23C16/26 ,  C23C16/56 ,  Y10T428/24 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明涉及纹理化DLC涂层的方法，包括：在DLC涂层的自由表面上沉积球状物或球状体的单层；用氧等离子体干法蚀刻DLC涂层；和清洗所述涂层的表面以去除所述球状物或球状体。

公开(公告)号：CN102471888A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080028626.3

申请日：2010-06-09

Applicant: 原子能与替代能源委员会

Inventor： 卡罗琳·舒凯 ,  锡德里克·迪克罗 ,  杰罗姆·加维莱 ,  弗雷德里克·桑谢特

IPC: C23C16/56

CPC classification number: C30B33/12 ,  B05D1/202 ,  B05D1/265 ,  B05D1/32 ,  B05D3/142 ,  B05D2350/33 ,  B05D2401/32 ,  C23C16/26 ,  C23C16/56 ,  Y10T428/24 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明涉及纹理化DLC涂层的方法，包括：在DLC涂层的自由表面上沉积球状物或球状体的单层；用氧等离子体干法蚀刻DLC涂层；和清洗所述涂层的表面以去除所述球状物或球状体。