公开(公告)号：CN101551541A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：CN200910132922.7

申请日：2009-03-31

Applicant: 卡西欧计算机株式会社 ,  学校法人高知工科大学

Inventor： 山本哲也 ,  山本直树 ,  牧野久雄 ,  氏原彰 ,  平岛义典 ,  岩冈启明 ,  青木久 ,  保苅一志 ,  吉田基彦

IPC: G02F1/1333 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  C23C14/35 ,  C23C14/38 ,  C23C14/40 ,  C23C14/44

CPC classification number: G02F1/13439 ,  C23C14/086 ,  C23C14/34 ,  C23C14/3485 ,  H01L51/5215

Abstract: 本发明提供一种由ZnO膜形成透明电极、且可降低相对于热处理的特性变化的显示用基板及其制造方法以及显示装置。显示用基板(1)具备支持基板(2)、形成于支持基板(2)上的有机树脂层(3)、和形成于有机树脂层(3)上的透明电极(4)。透明电极(4)包含第1层(5)和第2层(6)，该第1层(5)密合地形成于有机树脂层(3)上，且含有氧化锌，该第2层(6)形成于第1层(5)上，具有比第1层(5)厚的层厚，且含有氧化锌。第1层(5)通过直流溅射或直流磁控溅射而形成，第2层(6)通过高频溅射、高频磁控溅射、高频叠加直流溅射、高频叠加直流磁控溅射中的任何一种而形成。能够将显示用基板(1)用作例如液晶显示装置的对置电极用的带有透明电极的基板。

公开(公告)号：CN101551541B

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200910132922.7

申请日：2009-03-31

Applicant: 卡西欧计算机株式会社 ,  公立大学法人高知工科大学

Inventor： 山本哲也 ,  山本直树 ,  牧野久雄 ,  氏原彰 ,  平岛义典 ,  岩冈启明 ,  青木久 ,  保苅一志 ,  吉田基彦

IPC: G02F1/1333 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  C23C14/35 ,  C23C14/38 ,  C23C14/40 ,  C23C14/44

CPC classification number: G02F1/13439 ,  C23C14/086 ,  C23C14/34 ,  C23C14/3485 ,  H01L51/5215

Abstract: 本发明提供一种由ZnO膜形成透明电极、且可降低相对于热处理的特性变化的显示用基板及其制造方法以及显示装置。显示用基板(1)具备支持基板(2)、形成于支持基板(2)上的有机树脂层(3)、和形成于有机树脂层(3)上的透明电极(4)。透明电极(4)包含第1层(5)和第2层(6)，该第1层(5)密合地形成于有机树脂层(3)上，且含有氧化锌，该第2层(6)形成于第1层(5)上，具有比第1层(5)厚的层厚，且含有氧化锌。第1层(5)通过直流溅射或直流磁控溅射而形成，第2层(6)通过高频溅射、高频磁控溅射、高频叠加直流溅射、高频叠加直流磁控溅射中的任何一种而形成。能够将显示用基板(1)用作例如液晶显示装置的对置电极用的带有透明电极的基板。