公开(公告)号：CN101061409A

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：CN200580039437.5

申请日：2005-10-01

申请人： 卡尔蔡思SMT股份公司

发明人： J·拉乌 ,  A·朔帕赫 ,  B·格尔里赫 ,  J·库格勒 ,  M·马尔曼 ,  B·戈乌普佩特 ,  T·佩塔施 ,  G·菲尔特

IPC分类号： G02B7/00 ,  G02B17/08 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B7/00 ,  G02B7/008 ,  G02B7/021 ,  G02B7/028 ,  G02B7/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70883

摘要： 一种光学投影单元，包括第一光学元件模块和至少一个第二光学元件模块。第一光学元件模块包括第一外壳单元和至少第一光学元件，第一光学元件容纳在所述第一外壳单元内并具有限定第一光轴的光学用途第一区域。至少一个第二光学元件模块位于所述第一光学元件模块附近，并包括至少一个第二光学元件，所述第二光学元件限定光学投影单元的第二光轴。第一外壳单元具有中央第一外壳轴线以及围绕着所述第一外壳轴线沿着圆周方向延伸的外壁。第一光轴相对于所述第一外壳轴线横向偏置和/或倾斜。另外，第一外壳轴线与第二光轴基本上共线。