公开(公告)号：CN103255381B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201310169232.5

申请日：2005-05-06

申请人： 卡伯特公司

发明人： 约翰.P.梅特雷 ,  罗伯特.B.福特 ,  小查尔斯.E.威克沙姆

IPC分类号： C23C14/34 ,  B21J5/02

CPC分类号： C22C5/06 ,  C22C5/02 ,  C22C9/00 ,  C22C14/00 ,  C22C16/00 ,  C22C19/07 ,  C22C21/00 ,  C22C27/00 ,  C22F1/16 ,  C22F1/18 ,  C23C14/3414

摘要： 公开了一种使用旋转轴向锻造制造溅射靶的方法。其它热机械工序可以在锻造步骤之前和/或之后使用。进一步描述了一种可以具有独特晶粒尺寸和/或晶体结构的溅射靶。

公开(公告)号：CN103255381A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310169232.5

申请日：2005-05-06

申请人： 卡伯特公司

发明人： 约翰.P.梅特雷 ,  罗伯特.B.福特 ,  小查尔斯.E.威克沙姆

IPC分类号： C23C14/34 ,  B21J5/02

CPC分类号： C22C5/06 ,  C22C5/02 ,  C22C9/00 ,  C22C14/00 ,  C22C16/00 ,  C22C19/07 ,  C22C21/00 ,  C22C27/00 ,  C22F1/16 ,  C22F1/18 ,  C23C14/3414

摘要： 公开了一种使用旋转轴向锻造制造溅射靶的方法。其它热机械工序可以在锻造步骤之前和/或之后使用。进一步描述了一种可以具有独特晶粒尺寸和/或晶体结构的溅射靶。