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发明公开
具有滤光结构的反极性红外LED外延片及其制备方法有权

公开(公告)号：CN115602769A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211616048.6

申请日：2022-12-16

申请人： 南昌凯捷半导体科技有限公司(CN)

发明人： 王苏杰 , 杨祺 , 董耀尽 , 潘彬 , 王向武

IPC分类号： H01L33/10 , H01L33/06 , H01L33/00

摘要： 本发明涉及LED技术领域，具体涉及一种具有滤光结构的反极性红外LED外延片及其制备方法，该LED外延片从N型GaAs衬底开始由下往上依次生长N型GaAs缓冲层、腐蚀截止层、N型欧姆接触层、N型电极保护层、N型电流扩展层、N面滤光层、N型DBR反射层、N型限制层、N面波导层、多量子阱有源层、P面波导层、P型限制层、P型DBR反射层、P面滤光层、P型电流扩展层、P型窗口层。本发明通过在常规940nm反极性红外LED双侧的电流扩展层和限制层之间引入DBR反射层和滤光层结构，有效避免可见光的溢出，同时提高LED器件的发光效率，可应用于无红曝的安防监控摄像头等领域。