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公开(公告)号：CN113960381A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111240918.X
申请日：2021-10-25
Applicant: 南方电网科学研究院有限责任公司 , 佛山科学技术学院
IPC: G01R29/12 , H01L41/113 , H01L41/31
Abstract: 本发明公开了一种非接触式电场测量传感器，包括压敏电阻器、半导体薄膜、玻璃层、压电材料晶体和基底，所述压敏电阻器设置在半导体薄膜上，所述压电材料晶体内嵌于玻璃层中，所述玻璃层设有空气穴，所述基底上设有压电材料晶体和玻璃层。通过使用本发明，可以准确获取电场信息。本发明作为一种非接触式电场测量传感器，可广泛应用于传感器芯片领域。
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