-
公开(公告)号：CN118598920A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410639542.7
申请日：2024-05-22
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明提供了一种功能配体官能化的锡钒氧簇纳米粒子及其制备方法和应用，涉及光刻胶材料技术领域。该方法包括以下步骤：提供烷基链修饰的有机锡源和钒源，将配体加入上述二者的混合物中；向反应容器中加入主溶剂和分散于主溶剂中的辅助溶剂，超声混合均匀，制备锡钒反应体系；加热所述锡钒反应体系，控制加热温度为80℃，反应时间为3天；停止加热，并静置直至析出固体组分。该锡钒氧簇化合物的制备方法操作简单，可设计性灵活多样，能够获得粒径分布小且均匀的锡钒氧簇纳米颗粒，所得锡钒氧簇用于制备光刻图案中，有效增强EUV光吸收并提升光刻图案的分辨率。
Search Results
1
records
(took 0.017 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
