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公开(公告)号：CN112710387A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202110032419.5
申请日：2021-01-12
Applicant: 南开大学
Abstract: 一种光束位移放大技术，基于光学物镜成像原理和高灵敏的位置传感器，最高可将位移放大200倍，位移理论分辨率达到1nm，并且入射光斑由物镜会聚，光斑小于5μm，可以测量微区材料如机械剥离二维材料。入射光斑由格兰泰勒棱镜，二分之一波片和四分之一调整偏振后照射到样品上，与样品相互作用，发生横向光子自旋霍尔效应位移与纵向的古斯‑汉森位移，位移由收集物镜放大，放大后的位移由位置传感器测量。放大因子与只与物镜的倍数及所对应的管透镜的焦距有关，算出放大因子即可得出光斑在样品发生的真实位移，并可以级联多个收集物镜进行多重放大，放大因子为每个物镜放大因子的乘积，放大因子一旦确定就不会改变，因此光束位移测量技术是一种直接测量技术。
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