公开(公告)号：CN101629824B

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN200910181888.2

申请日：2009-07-31

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 涂兴华 ,  梁忠诚 ,  徐宁 ,  沈鹏 ,  黄舒舒

IPC: G01C19/64 ,  G02F1/35

Abstract: 马赫-曾德尔干涉型微流控光学陀螺芯片采用“上盖板+微型气泵层+光波导层+下底板”的夹心结构，其中：第一层为上盖板(11)，上面留有排气孔(3)、注液孔(2)和电极孔(1、4)；第二层为微型气泵层(12)，其上有微型气泵模块(5、6)，以及对应匹配的排气孔、注液孔及电极孔；第三层为光波导层(13)，除了利用微流道工艺制作的微流道(10)外，中部是储液小槽及与微环腔(9)相通的细流道；第四层为下底板(14)。在该结构中，上盖板(11)、光波导层(13)和下底板(14)皆采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)。上盖板、下底板均镀有反射膜，光波导层(13)的PDMS基质上表面镀有聚乙烯醇(PVA)薄膜。本发明结构简单、容易制作、适于集成，可用于导航及定位。

公开(公告)号：CN101629824A

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200910181888.2

申请日：2009-07-31

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 涂兴华 ,  梁忠诚 ,  徐宁 ,  沈鹏 ,  黄舒舒

IPC: G01C19/64 ,  G02F1/35

Abstract: 马赫-曾德尔干涉型微流控光学陀螺芯片采用“上盖板+微型气泵层+光波导层+下底板”的夹心结构，其中：第一层为上盖板(11)，上面留有排气孔(3)、注液孔(2)和电极孔(1、4)；第二层为微型气泵层(12)，其上有微型气泵模块(5、6)，以及对应匹配的排气孔、注液孔及电极孔；第三层为光波导层(13)，除了利用微流道工艺制作的微流道(10)外，中部是储液小槽及与微环腔(9)相通的细流道；第四层为下底板(14)。在该结构中，上盖板(11)、光波导层(13)和下底板(14)皆采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)。上盖板、下底板均镀有反射膜，光波导层(13)的PDMS基质上表面镀有聚乙烯醇(PVA)薄膜。本发明结构简单、容易制作、适于集成，可用于导航及定位。

公开(公告)号：CN101704499A

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200910185328.4

申请日：2009-11-05

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 涂兴华 ,  沈鹏 ,  梁忠诚 ,  徐宁 ,  黄舒舒

IPC: B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  G01C19/64

Abstract: 微流控光学陀螺的工艺制作方法涉及一种新颖的基于微流控技术，用电控制信号进行操作的光学陀螺结构的集成化制作方法，该方法采用机械加工、制作PDMS微流控芯片、镀膜、封合来实现包含上盖板(11)、微型气泵层(12)、光波导层(13)和下底板(14)的夹心结构的集成制作，实现微流控光学陀螺芯片结构。集成化制作方法的主要步骤包括：光波导层的制作、微型气泵层的制作、镀膜和芯片封合四个基本过程。其中，上盖板、光波导层和下底板皆采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)；结构的上盖板，下底板都需要镀反射膜，通过涂抹聚乙烯醇(PVA)材料来改善。