一种图案化ZIF-8薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN117164928A

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202311089360.9

    申请日:2023-08-28

    Abstract: 本发明公开了一种图案化ZIF‑8薄膜及其制备方法,制备方法包括以下步骤:配置锌基树脂前驱体溶液;使用旋涂机将锌基树脂前驱体溶液均匀地扩散到硅片表面并成膜,然后使用长波紫外线透过图案化掩模版对硅片表面的膜进行照射,使硅片表面膜固化生成图案化丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜,然后对图案化丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜进行洗涤处理;采用高温热处理法将图案化丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜转化为图案化多孔氧化锌薄膜;采用化学气相沉积法将图案化多孔氧化锌薄膜和2‑甲基咪唑粉末进行反应转化为图案化ZIF‑8薄膜。本发明公开的一种图案化ZIF‑8薄膜及其制备方法,无需使用常规光刻工艺的光刻胶,制备工艺简单,原材料利用率高,几乎无副反应产物及工业废料。

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