公开(公告)号：CN107815659A

公开(公告)日：2018-03-20

申请号：CN201710917990.9

申请日：2017-09-28

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 孙兵 ,  王旗 ,  韦玮 ,  胡二涛

IPC: C23C14/50

Abstract: 本发明公开了一种光纤圆柱侧面均匀镀膜装置及其方法，其装置用于具有镀膜盘的镀膜仪器上，包括保护旋转结构、光纤支撑结构；所述保护旋转结构包括外框架封闭件，其竖立侧面围板与一个底板相结合；底板上设置有多个电机与电源组件；所述光纤支撑结构包括与外框架封闭件固定的光纤支架，其上设置有多个用于放置光纤的V型槽；所述竖立侧面围板对着光纤支架的一面上开有多个小孔，分别对应于各电机与电源组件的电机输出轴；多个光纤转轴的一端分别与各电机输出轴相连接，另一端分别与对应光纤的一头紧密套接；光纤另一头置于V型槽上，从而使光纤随电机输出轴而旋转。本发明装置结构简单紧凑，方法简便易行，可适用于各种镀膜仪器。

公开(公告)号：CN107815659B

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201710917990.9

申请日：2017-09-28

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 孙兵 ,  王旗 ,  韦玮 ,  胡二涛

IPC: C23C14/50

Abstract: 本发明公开了一种光纤圆柱侧面均匀镀膜装置及其方法，其装置用于具有镀膜盘的镀膜仪器上，包括保护旋转结构、光纤支撑结构；所述保护旋转结构包括外框架封闭件，其竖立侧面围板与一个底板相结合；底板上设置有多个电机与电源组件；所述光纤支撑结构包括与外框架封闭件固定的光纤支架，其上设置有多个用于放置光纤的V型槽；所述竖立侧面围板对着光纤支架的一面上开有多个小孔，分别对应于各电机与电源组件的电机输出轴；多个光纤转轴的一端分别与各电机输出轴相连接，另一端分别与对应光纤的一头紧密套接；光纤另一头置于V型槽上，从而使光纤随电机输出轴而旋转。本发明装置结构简单紧凑，方法简便易行，可适用于各种镀膜仪器。