一种纳米管状二硫化钼的制备方法

    公开(公告)号:CN110104686A

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201910409692.8

    申请日:2019-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种纳米管状二硫化钼的制备方法,方法具体采用CVD法进行二硫化钼制备,首先将指定量的S粉放置在CVD管式炉中指定的低温区中心,并将指定量的钼源放置在CVD管式炉中指定的高温区中心,同时将在酒精中经过超声波清洗的硅片放置在不同位置进行制备,其中,可将硅片埋于S粉中,或直接至于钼源正上方,或通过陶瓷块架高后至于钼源正上方;然后,在CVD管式炉中通入指定流速的惰性气体;最后,通过控制CVD管式炉中氩气流速、气压、反应物的量和硅片摆放的位置距离等条件,得到层数较薄、结构规则的纳米管状二硫化钼;本发明制备二硫化钼操作简单,而且成本低廉,效率高,得到的二硫化钼为规则的管状结构。

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