六维压电式能量收集器及其制作方法

    公开(公告)号:CN107947636B

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN201711441423.7

    申请日:2017-12-27

    Abstract: 本发明公开了一种六维压电式能量收集器及其制作方法,该能量收集器以单晶硅为衬底,在衬底上设计有支持梁、主悬臂梁、一对第一副悬臂梁、两对第二副悬臂梁以及悬臂梁两侧的质量块、悬臂梁上的压电层。支持梁负责连接能量收集器和衬底,每个悬臂梁两端均设置有质量块,可以控制质量块的尺寸及质量来控制悬臂梁的谐振频率,同时可以加大悬臂梁的振幅,质量块还起着悬臂梁之间的连接作用。每个悬臂梁的表面设有压电材料层,在悬臂梁接收外界振动产生形变的同时,压电材料伴随悬臂梁同时振动发生形变,此时压电材料两端将产生一定的电势差,同时产生微弱电流,多路电流将沿着悬臂梁集中汇入支持梁,最终输出到外界系统。

    六维压电式能量收集器及其制作方法

    公开(公告)号:CN107947636A

    公开(公告)日:2018-04-20

    申请号:CN201711441423.7

    申请日:2017-12-27

    CPC classification number: H02N2/18 B81B3/0021 B81C1/0015 H02N2/22

    Abstract: 本发明公开了一种六维压电式能量收集器及其制作方法,该能量收集器以单晶硅为衬底,在衬底上设计有支持梁、主悬臂梁、一对第一副悬臂梁、两对第二副悬臂梁以及悬臂梁两侧的质量块、悬臂梁上的压电层。支持梁负责连接能量收集器和衬底,每个悬臂梁两端均设置有质量块,可以控制质量块的尺寸及质量来控制悬臂梁的谐振频率,同时可以加大悬臂梁的振幅,质量块还起着悬臂梁之间的连接作用。每个悬臂梁的表面设有压电材料层,在悬臂梁接收外界振动产生形变的同时,压电材料伴随悬臂梁同时振动发生形变,此时压电材料两端将产生一定的电势差,同时产生微弱电流,多路电流将沿着悬臂梁集中汇入支持梁,最终输出到外界系统。

    多频率的压电超声发生器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107413612A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201710468686.0

    申请日:2017-06-20

    CPC classification number: B06B1/0614

    Abstract: 本发明公开了一种多频率的压电超声发生器及其制备方法,是一种体积小、重量轻、操作简单、频率可调,且便于与其它器件集成的新型超声发生器及其制备方法。该多频率的压电超声发生器以高阻硅为衬底,在衬底上设有MEMS悬臂梁下拉电极,在MEMS悬臂梁下拉电极上设有MEMS悬臂梁桥墩,在MEMS悬臂梁桥墩上设有MEMS悬臂梁,在MEMS悬臂梁与MEMS悬臂梁下拉电极之间设有压电材料ZnO。本发明由于MEMS悬臂梁阵列中具有不同的长度,特征频率不同,从而实现多频率的超声波。

    基于线状铜颗粒复合物的耐高温微波吸收材料

    公开(公告)号:CN105860927A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610257481.3

    申请日:2016-04-24

    CPC classification number: C09K3/00

    Abstract: 本发明公开了基于线状铜颗粒复合物的耐高温微波吸收材料,该材料由浓度低于逾渗阈值的线状铜颗粒与以聚四氟乙烯为主要成分的多孔材料复合而成。其中,线状铜颗粒直径在80微米左右、长度在4毫米左右;以聚四氟乙烯为主要成分的多孔材料,具有低介电常数(1.6左右)和耐高温特性。本发明旨在采用1毫米厚度薄层贴敷于金属块材表面,在15?20GHz频率范围实现低于?5dB的微波能量反射率,且具有耐高温的特征。

    六维压电式能量收集器

    公开(公告)号:CN207603482U

    公开(公告)日:2018-07-10

    申请号:CN201721857221.6

    申请日:2017-12-27

    Abstract: 本实用新型公开了一种六维压电式能量收集器,该能量收集器以单晶硅为衬底,在衬底上设计有支持梁、主悬臂梁、一对第一副悬臂梁、两对第二副悬臂梁以及悬臂梁两侧的质量块、悬臂梁上的压电层。支持梁负责连接能量收集器和衬底,每个悬臂梁两端均设置有质量块,可以控制质量块的尺寸及质量来控制悬臂梁的谐振频率,同时可以加大悬臂梁的振幅,质量块还起着悬臂梁之间的连接作用。每个悬臂梁的表面设有压电材料层,在悬臂梁接收外界振动产生形变的同时,压电材料伴随悬臂梁同时振动发生形变,此时压电材料两端将产生一定的电势差,同时产生微弱电流,多路电流将沿着悬臂梁集中汇入支持梁,最终输出到外界系统。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    多频率的压电超声发生器

    公开(公告)号:CN206997020U

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201720717544.9

    申请日:2017-06-20

    Abstract: 本实用新型公开了一种多频率的压电超声发生器,是一种体积小、重量轻、操作简单、频率可调,且便于与其它器件集成的新型超声发生器。该多频率的压电超声发生器以高阻硅为衬底,在衬底上设有MEMS悬臂梁下拉电极,在MEMS悬臂梁下拉电极上设有MEMS悬臂梁桥墩,在MEMS悬臂梁桥墩上设有MEMS悬臂梁,在MEMS悬臂梁与MEMS悬臂梁下拉电极之间设有压电材料ZnO。本实用新型由于MEMS悬臂梁阵列中具有不同的长度,特征频率不同,从而实现多频率的超声波。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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