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发明公开
模块式电调谐微流控阵列光开关芯片无效

公开(公告)号：CN102122029A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN201110068852.0

申请日：2011-03-18

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 徐宁 , 涂兴华 , 曹作恺 , 钱晨 , 马正北 , 陈陶

IPC: G02B6/35

Abstract: 模块式电调谐微流控阵列光开关芯片采用“盖板+波导层+底板”结构，其中，第一层为盖板(1)，盖板上留有接线孔(2)；第二层为波导层(3)，其中设有微流道(4)、四个条形波导和两个等腰直角棱镜，两个棱镜的斜面构成微流道，微流道一端密封，另一端为向外延伸的曲面结构(11)，曲面外侧贴有薄膜(12)，薄膜外侧是电调谐控制器件(13)；第三层为底板(14)；盖板下表面与波导层、波导层与底板通过等离子辅助键合方式连接，实现密封及固定的效果。本发明属于光交叉连接、光分插复用器件的技术领域，目的在于提出一种微流控阵列光开关芯片，解决微流控阵列光开关的压电控制、波导层制作以及集成化方法问题。

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