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公开(公告)号：CN108594007A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810420335.7
申请日：2018-05-04
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/10
Abstract: 本发明是一种基于固支梁压阻效应的微波功率传感器，包括高阻硅衬底，在高阻硅衬底上设置有共面波导传输线、固支梁，共面波导传输线包括CPW信号线和CPW地线，在CPW地线与CPW信号线之间还分别设置有固支梁桥墩，固支梁的两端分别通过固支梁桥墩固定在CPW信号线的上方，固支梁的两端通过固支梁桥墩与高阻硅衬底相连，在CPW信号线的正上方、固支梁的上表面设置有金属质量块，固支梁的上下表面均设置有扩散电阻，微波功率传感器工作时固支梁形变导致固支梁表面应力变化，扩散电阻的值产生变化，通过惠更斯电桥法测量节点之间电压变化即可直接测量微波功率值。本发明的微波功率传感器结构新颖、易于集成，且测量范围较宽、测量精度较高。
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公开(公告)号：CN108362936A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810385519.4
申请日：2018-04-26
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明是一种基于固支梁的d31的压电式微波功率传感器，传感器包括高阻硅衬底，在高阻硅衬底上设有共面波导传输线和固支梁，共面波导传输线是包括中心信号线和地线，地线设置在中心信号线的两侧，固支梁两端利用桥墩固定在信中心信号线和地线之间，固支梁正下方嵌入一质量块，固支梁的上方有四块压电材料层，四块压电材料层与固支梁之间填充着介质层，当微波功率在共面波导传输时，固支梁受到静电力下拉，压电材料层随之产生形变，根据压电效应，压电材料层上电荷的分布发生变化，产生与微波功率一一对应的电压，通过检测电压进行微波功率的检测。本发明的微波功率传感器结构新颖、易于集成，且灵敏度较高。
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公开(公告)号：CN108196091A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201810293685.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/18
Abstract: 本发明公开了一种基于CMOS的光电加速度传感器，采用MEMS平面加工，该加速度传感器由短波平行光源、Y向遮光板，X向遮光板以及CMOS光电阵列组成。在遮光板上刻蚀出若干条条纹使得光线透过。当物体沿Y（X）轴运动时，Y（X）向遮光板产生的条纹位置会产生变化，同时CMOS光电阵列感应这些条纹位置的变化并计算单位时间内条纹的位移，即可得到Y（X）轴方向上的运动情况。当物体沿Z轴方向运动，X向遮光板和Y向遮光板产生的光照条纹所围成的方形内光敏元件数目会发生变化，通过计算数目的变化即可得到Z轴方向的运动情况。本发明的加速度传感器采用多位二进制数表示光照强度，具有精度高、灵敏度高等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108196091B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN201810293685.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/18
Abstract: 本发明公开了一种基于CMOS的光电加速度传感器，采用MEMS平面加工，该加速度传感器由短波平行光源、Y向遮光板，X向遮光板以及CMOS光电阵列组成。在遮光板上刻蚀出若干条条纹使得光线透过。当物体沿Y（X）轴运动时，Y（X）向遮光板产生的条纹位置会产生变化，同时CMOS光电阵列感应这些条纹位置的变化并计算单位时间内条纹的位移，即可得到Y（X）轴方向上的运动情况。当物体沿Z轴方向运动，X向遮光板和Y向遮光板产生的光照条纹所围成的方形内光敏元件数目会发生变化，通过计算数目的变化即可得到Z轴方向的运动情况。本发明的加速度传感器采用多位二进制数表示光照强度，具有精度高、灵敏度高等优点。(56)对比文件石磊;吴武臣.CMOS图像传感器在光栅传感器中的应用探讨.安阳工学院学报.2007,(01),第28-31页.
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公开(公告)号：CN108594007B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201810420335.7
申请日：2018-05-04
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/10
Abstract: 本发明是一种基于固支梁压阻效应的微波功率传感器，包括高阻硅衬底，在高阻硅衬底上设置有共面波导传输线、固支梁，共面波导传输线包括CPW信号线和CPW地线，在CPW地线与CPW信号线之间还分别设置有固支梁桥墩，固支梁的两端分别通过固支梁桥墩固定在CPW信号线的上方，固支梁的两端通过固支梁桥墩与高阻硅衬底相连，在CPW信号线的正上方、固支梁的上表面设置有金属质量块，固支梁的上下表面均设置有扩散电阻，微波功率传感器工作时固支梁形变导致固支梁表面应力变化，扩散电阻的值产生变化，通过惠更斯电桥法测量节点之间电压变化即可直接测量微波功率值。本发明的微波功率传感器结构新颖、易于集成，且测量范围较宽、测量精度较高。
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公开(公告)号：CN208092125U
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201820657756.7
申请日：2018-05-04
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/10
Abstract: 本实用新型是一种基于固支梁压阻效应的微波功率传感器，包括高阻硅衬底，在高阻硅衬底上设置有共面波导传输线、固支梁，共面波导传输线包括CPW信号线和CPW地线，在CPW地线与CPW信号线之间还分别设置有固支梁桥墩，固支梁的两端分别通过固支梁桥墩固定在CPW信号线的上方，固支梁的两端通过固支梁桥墩与高阻硅衬底相连，在CPW信号线的正上方、固支梁的上表面设置有金属质量块，固支梁的上下表面均设置有扩散电阻，微波功率传感器工作时固支梁形变导致固支梁表面应力变化，扩散电阻的值产生变化，通过惠更斯电桥法测量节点之间电压变化即可直接测量微波功率值。本实用新型的微波功率传感器结构新颖、易于集成，且测量范围较宽、测量精度较高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208092124U
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201820610220.X
申请日：2018-04-26
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本实用新型是一种基于固支梁的d31的压电式微波功率传感器，传感器包括高阻硅衬底，在高阻硅衬底上设有共面波导传输线和固支梁，共面波导传输线是包括中心信号线和地线，地线设置在中心信号线的两侧，固支梁两端利用桥墩固定在信中心信号线和地线之间，固支梁正下方嵌入一质量块，固支梁的上方有四块压电材料层，四块压电材料层与固支梁之间填充着介质层，当微波功率在共面波导传输时，固支梁受到静电力下拉，压电材料层随之产生形变，根据压电效应，压电材料层上电荷的分布发生变化，产生与微波功率一一对应的电压，通过检测电压进行微波功率的检测。本实用新型的微波功率传感器结构新颖、易于集成，且灵敏度较高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208188151U
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201820467232.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/18
Abstract: 本实用新型公开了一种基于CMOS的光电加速度传感器，采用MEMS平面加工，该加速度传感器由短波平行光源、Y向遮光板，X向遮光板以及CMOS光电阵列组成。在遮光板上刻蚀出若干条条纹使得光线透过。当物体沿Y（X）轴运动时，Y（X）向遮光板产生的条纹位置会产生变化，同时CMOS光电阵列感应这些条纹位置的变化并计算单位时间内条纹的位移，即可得到Y（X）轴方向上的运动情况。当物体沿Z轴方向运动，X向遮光板和Y向遮光板产生的光照条纹所围成的方形内光敏元件数目会发生变化，通过计算数目的变化即可得到Z轴方向的运动情况。本实用新型的加速度传感器采用多位二进制数表示光照强度，具有精度高、灵敏度高等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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