公开(公告)号：CN115267971B

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202210954356.3

申请日：2022-08-10

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 朱刚毅 ,  田沐霏 ,  刘子怡 ,  邓睿

IPC: G02B6/125 ,  G02B6/13 ,  G02B6/124 ,  G02B6/136 ,  G01C21/18 ,  G01C21/16

Abstract: 本发明公开了一种光子惯导芯片及其制备方法，包括布置在SOI晶片上的光子陀螺与加速度计，所述光子陀螺包括环形谐振腔，及连接在环形谐振腔上的第一直波导与第二直波导；所述加速度计包括跑道型谐振腔，所述跑道型谐振腔的一条直边上连接第三直波导，另一条直边上设置有质量块，所述质量块的下方设置有悬空区域；第一直波导与第二直波导的输入端连接第二Y分支波导的输出端，第二Y分支波导的输入端及第三直波导通过第一Y分支波导连接，接收输入端耦合光栅的光信号，实现了惯导芯片的集成化与微型化，提高灵敏度。

公开(公告)号：CN115267971A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202210954356.3

申请日：2022-08-10

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 朱刚毅 ,  田沐霏 ,  刘子怡 ,  邓睿

IPC: G02B6/125 ,  G02B6/13 ,  G02B6/124 ,  G02B6/136 ,  G01C21/18 ,  G01C21/16

Abstract: 本发明公开了一种光子惯导芯片及其制备方法，包括布置在SOI晶片上的光子陀螺与加速度计，所述光子陀螺包括环形谐振腔，及连接在环形谐振腔上的第一直波导与第二直波导；所述加速度计包括跑道型谐振腔，所述跑道型谐振腔的一条直边上连接第三直波导，另一条直边上设置有质量块，所述质量块的下方设置有悬空区域；第一直波导与第二直波导的输入端连接第二Y型波导的输出端，第二Y型波导的输入端及第三直波导通过第一Y分支波导连接，接收输入端耦合光栅的光信号，实现了惯导芯片的集成化与微型化，提高灵敏度。